[實用新型]一種高精度均溫快速升溫裝置

有效

• 申請號: 201320753197.7
• 申請日: 2013-11-26
• 公開（公告）號: CN203700507U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 山東希格斯新能源有限責任公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明屬于熱處理領域，特別針對真空鍍膜行業中基板升溫降溫領域，尤其是涉及一種高精度均溫快速升溫裝置。

背景技術

目前真空行業在不斷的發展，真空鍍膜和熱處理都是得到廣大用戶認可和應用與各個領域，特別是針對真空鍍膜行業的磁控濺射，由于磁控濺射的應用廣泛，采用不同的靶材能夠得到不同的薄膜，用于裝飾、防腐、顯示、觸摸或者新能源行業，隨著前磁控濺射的廣泛的使用，人們對其工藝控制的要求也越來越高，特別是對于精細加工方面，要在工件表面沉積一層具有特殊用途膜層，為保證工件表面的膜層性能，真空鍍膜過程中，一般需要將工件加熱到一定的溫度。

目前，真空鍍膜常用的工件加熱方法是電阻絲加熱法，該方法將熱敏電阻的發熱部直接與工件表面接觸，并將其電線連接后固定與真空室，屬于真空中接觸式加熱，距離越遠就會出現基板加熱升溫速速越慢，特別對于流動式的生產線上的濺射，基板需要升至高溫，必須將電阻絲加熱器采用大功率或者是采用多個腔體多個加熱器分段升溫的方式，這樣對于生產成本來說，生產線上需要耗費很大能量，并且設備的會很長，占地面積也會很大，設備的成本也高，并且此加熱的方式做到最好的溫度不均勻性是±5攝氏度，此外對于基板上的水汽除去效果也不是很好，可能會在基板表面留下水印痕跡。

針對目前現在電阻絲加熱的缺點，為了解決這些缺點，在現有技術揭示了一種高精度均溫快速升溫裝置，利用非接觸式的紅外燈管輻射加熱，避免在真空環境中，由于熱量輻射傳遞較慢，而影響生產升溫速度和影響生產節拍，同時避免的基板必須采用接觸式加熱的缺點，非接觸式的加熱能減少生產線上真空鍍膜設備的長度，同時降低生產設備的成本。此外還能降低生產時加熱的耗能，特別是紅外燈管加熱對于基板上的水汽的除去，具有很明顯的效果，紅外燈管加熱器采用特殊的燈管罩設計，避免了燈管引電線在真空腔體內部，從而避免引線端子出現打弧的現象，同時，在設備維護維修的時候，更換燈管不需要破壞真空，直接在真空腔體外面，將引電的快捷插頭拔下，將燈管從燈管罩中取出即可。減少了生產的設備當機時間，提高生產效率。

實用新型內容

鑒于如上所述現有工藝的需求，一種高精度均溫快速升溫裝置是用于真空磁控濺射設備上，在生產線上將基板在真空中快速升溫，主要原理是靠真空的紅外線的輻射升溫，在真空中，熱量傳遞很慢，但是對于碳中波或者是碳長波的紅外，具有一定的穿透力，對于在真空中加熱基板升溫速度比電阻絲加熱快，相對于短波來說升溫速度是其的2倍左右，屬于非接觸式升溫，非接觸式的加熱能減少生產線上真空鍍膜設備的長度，同時降低生產設備的成本。此外還能降低生產時加熱的耗能，特別是紅外燈管加熱對于基板上的水汽的除去，具有很明顯的效果，紅外燈管加熱器采用特殊的燈管罩設計，避免了燈管引電線在真空腔體內部，從而避免引線端子出現打弧的現象，同時，在設備維護維修的時候，更換燈管不需要破壞真空，直接在真空腔體外面，將引電的快捷插頭拔下，將燈管從燈管罩中取出即可。減少了生產的設備當機時間，提高生產效率。針對磁控濺射設備的真空中一種高精度均溫快速升溫裝置進行詳細說明：

本實用新型提供的一種高精度均溫快速升溫裝置，用于連續生產線連續鍍膜設備上對于基板進行快速升溫和降溫的均溫裝置，該裝置包含至少多根紅外燈管，位于基板的前后面，用于基板快速均勻升溫，其特征在于：該燈管是采用碳中波近紅外燈管，該加熱裝置還包括密封燈管罩，將橫穿真空腔體，燈管穿在燈管罩內部，用于燈管在大氣中加熱，在輻射給真空中的基板，燈管引電接線以及拆卸維護在真空腔體外面，不會破壞真空。該加熱裝置還包含一層均熱板、反射板、溫度監控裝置，所述均熱板用于基板加熱保證溫度的均勻性；所述反射板用于熱量保持和再次熱量重復利用；溫度監控裝置用于基板和加熱器的溫度檢測和溫度控制。該加熱器在真空鍍膜產線上能快速將大面積基板升溫并能保持很好的溫度均勻性，并且加熱燈管引線點在真空腔體外，不會因為供電后，在真空腔體內產生兩電極打弧起輝現象，也不會因為維護而破壞真空，可以在真空腔體外面更換維護加熱裝置。

所述紅外燈管，其特征在于：所述紅外燈管為碳中波的8字型的孿生雙燈管形式，其功率是3000W-5000W之間，燈管的總長度是800mm-2000mm，有效加熱長度是650mm-1700mm，右端無效加熱長度是60mm-90mm，左端無效加熱長度是90mm-130mm，絕緣線長度是500mm，絕緣密封是采用四氟橡膠，接線方式為雙端接線的方式，此燈管可水平放置可垂直放置，燈管管徑是14x34mm。

所述碳中波燈管，其特征在于：碳中波燈管燈絲能替換為快速碳長波燈絲。???