[實用新型]一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備有效
| 申請號： | 201320745551.1 | 申請日： | 2013-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN203559158U | 公開（公告）日： | 2014-04-23 |
| 發明（設計）人： | 王登科;安廣野;姜大川;郭校亮;譚毅 | 申請（專利權）人： | 青島隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B28/06 | 分類號： | C30B28/06;C30B29/06;C01B33/037 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 266234 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電子束 熔煉 多晶 鑄錠 耦合 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備，包括爐體，其特征在于：爐體中設置有電子束熔煉組件和鑄錠耦合組件，其中：
電子束熔煉組件包括安裝于爐體內上部的水冷傳輸帶，該水冷傳輸帶一側的爐體壁上設置有加料裝置，該加料裝置的出料口位于水冷傳輸帶上方，該水冷傳輸帶另一側向下傾斜并設有導流口，該水冷傳輸帶頂部爐體上固定安裝有熔煉用電子槍和輻射用電子槍；
鑄錠耦合組件包括鑄錠裝置，鑄錠裝置位于水冷傳輸帶下方，且水冷傳輸帶的導流口位于鑄錠裝置的石英坩堝中心的正上方。
2.根據權利要求1所述的一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備，其特征在于：所述水冷傳輸帶向下傾斜，其與水平面之間的傾斜角度為5°～15°。
3.根據權利要求1所述的一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備，其特征在于：所述鑄錠裝置包括固定安裝于爐體內底部的水冷機構，該水冷機構上設有石英坩堝，石英坩堝外壁上由內到外設有加熱器和保溫套筒。
4.根據權利要求3所述的一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備，其特征在于：所述水冷機構采用水冷拉錠機構，所述加熱器為一體的石墨加熱器。
5.根據權利要求3所述的一種電子束熔煉多晶硅除氧與鑄錠耦合的設備，其特征在于：所述水冷機構為固定的水冷機構，所述加熱器為分體的石墨加熱器，包括上、中、下三個石墨加熱片。
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