[實用新型]干涉物鏡驅動裝置

有效

• 申請號: 201320745023.6
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN203687890U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 鐘博文;王振華;孫立寧;金子祺;錢哲
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 常亮

技術領域

本實用新型涉及微驅動應用領域，具體涉及一種干涉物鏡驅動裝置。

背景技術

機械零件的表面質量不僅直接影響著零件的使用性能，而且還影響著產品的質量、可靠性及壽命。隨著現代技術水平的飛速發展，很多高精尖產品對表面加工質量要求越來越高，超精密加工技術已經成為現代科技的前沿。而超精密檢測技術是與超精密加工技術并行發展的一門高科技技術，精確可靠地測量超精表面的微觀形貌現已成為超精密加工領域中一個有待解決的關鍵問題。

干涉物鏡是利用光波干涉原理來檢測機械零件表面質量的儀器，其具有表面信息直觀和測量精度高等優點。目前，上述干涉物鏡在使用過程中，需要對其進行定位，使其與被測量物之間保持合適的距離。因此，需要物鏡驅動裝置對其進行驅動，但現有的物鏡驅動裝置具有精度達不到要求、可靠性差、響應時間慢、體積過大、結構復雜且噪聲大等缺點。

因此，針對上述問題，有必要提供一種改良的干涉物鏡驅動裝置。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型提供了一種干涉物鏡驅動裝置。

為了實現上述目的，本實用新型實施例提供的技術方案如下：

一種干涉物鏡驅動裝置，其包括：

本體，所述本體上形成有貫通的腔室，所述腔室的一側一體形成雙平行板四桿機構，所述雙平行板四桿機構由柔性鉸鏈形成；

安裝架和固定架，所述安裝架設置于所述雙平行板四桿機構上，且與所述雙平行板四桿機構一體成型，所述固定架與所述安裝架相對地設置于所述本體的另一端；

壓電陶瓷、預緊頂絲、滾珠，所述壓電陶瓷、滾珠位于所述腔室中，所述預緊頂絲與所述本體相螺接，且與所述雙平行板四桿機構相對設置，所述滾珠與所述預緊頂絲相配合，且與壓電陶瓷相抵靠，所述壓電陶瓷與所述滾珠相對的一端與所述雙平行板四桿機構相抵靠。

作為本實用新型的進一步改進，所述滾珠部分鑲嵌于所述預緊頂絲中。

作為本實用新型的進一步改進，所述預緊頂絲包括第一頂絲和第二頂絲，所述第一頂絲和第二頂絲通過方向相反的螺紋與所述本體相螺接。

作為本實用新型的進一步改進，所述預緊頂絲與所述本體相螺接的螺紋為M6X0.75細牙螺紋。

作為本實用新型的進一步改進，所述滾珠和壓電陶瓷之間還設置有鎢鋼片，所述鎢鋼片與所述壓電陶瓷的一端進行固定連接，所述滾珠抵靠于所述鎢鋼片上。

作為本實用新型的進一步改進，所述柔性鉸鏈最大形變量時的恢復力小于與其相互作用的壓電陶瓷的最大驅動力。

作為本實用新型的進一步改進，所述柔性鉸鏈的材質為超硬鋁。

作為本實用新型的進一步改進，所述貫通的腔室具有相對設置的開口，所述相對設置的開口分別由上蓋板和下蓋板進行封閉。

作為本實用新型的進一步改進，所述安裝架上形成有安裝干涉物鏡的螺紋。

為了實現上述目的，本實用新型實施例提供的另一種技術方案如下：

一種干涉物鏡驅動裝置，其包括：

本體，所述本體上形成有貫通的腔室，所述腔室的一側一體形成對稱四桿機構，所述雙對稱四桿機構由柔性鉸鏈形成；

安裝架和固定架，所述安裝架設置于所述對稱四桿機構上，且與所述對稱四桿機構一體成型，所述固定架與所述安裝架相對地設置于所述本體的另一端；

壓電陶瓷、預緊頂絲、滾珠，所述壓電陶瓷、滾珠位于所述腔室中，所述預緊頂絲與所述本體相螺接，且與所述對稱四桿機構相對設置，所述滾珠位于所述壓電陶瓷和預緊頂絲之間，并與二者相抵靠，所述壓電陶瓷與所述滾珠相對的一端與所述對稱四桿機構相抵靠。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型的干涉物鏡驅動裝置采用了柔性鉸鏈形成的雙平行板四桿機構進行傳動，其結構緊湊，當外形尺寸受限且驅動力確定的情況下，其能夠獲得最大的位移輸出比。此外，其傳動關系明確、無傳動空程、無摩擦、精度高、強度好。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型中記載的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實用新型的干涉物鏡驅動裝置一具體實施方式的立體示意圖；

圖2為本實用新型的干涉物鏡驅動裝置一具體實施方式的部分結構的剖視圖；

圖3為本實用新型的干涉物鏡驅動裝置一具體實施方式的平面示意圖；