[實用新型]干涉物鏡驅(qū)動裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320744209.X | 申請日： | 2013-11-21 |
| 公開（公告）號： | CN203687889U | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鐘博文;王振華;孫立寧;金子祺;錢哲 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215123 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 干涉 物鏡 驅(qū)動 裝置 | ||
1.一種干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述干涉物鏡驅(qū)動裝置包括：
本體，所述本體上形成有貫通的腔室，所述腔室的一側(cè)一體形成對稱四桿機構(gòu)，所述對稱四桿機構(gòu)由柔性鉸鏈形成；
安裝架和固定架，所述安裝架設(shè)置于所述對稱四桿機構(gòu)上，且與所述對稱四桿機構(gòu)一體成型，所述固定架與所述安裝架相對地設(shè)置于所述本體的另一端；
放大機構(gòu)，其位于所述腔室中，所述放大機構(gòu)包括相對設(shè)置的弧形金屬框架、及與所述弧形金屬框架一體成型且相對設(shè)置的金屬板框架，且所述金屬板框架設(shè)置于所述弧形金屬框架之間，并與所述弧形金屬框架相垂直，所述一側(cè)的弧形金屬框架通過一支撐件與所述對稱四桿機構(gòu)相連接，所述另一側(cè)的弧形金屬框架通過另一支撐件與所述本體連接；
壓電陶瓷、預(yù)緊頂絲、滾珠，所述壓電陶瓷內(nèi)接于所述金屬板框架之間，所述預(yù)緊頂絲與所述本體相螺接，所述滾珠與所述預(yù)緊頂絲相配合，且所述滾珠與所述壓電陶瓷與所述金屬板框架相內(nèi)接一側(cè)的壁面相抵靠。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述放大機構(gòu)將所述壓電陶瓷的位移放大5～14倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，滾珠部分鑲嵌于所述預(yù)緊頂絲中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述預(yù)緊頂絲包括第一頂絲和第二頂絲，所述第一頂絲和第二頂絲通過方向相反的螺紋與所述本體相螺接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述滾珠和壓電陶瓷之間還設(shè)置有鎢鋼片，所述鎢鋼片與所述壓電陶瓷的一端進(jìn)行固定連接，所述滾珠抵靠于所述鎢鋼片上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述柔性鉸鏈最大形變量時的恢復(fù)力小于與其相互作用的壓電陶瓷的最大驅(qū)動力。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述貫通的腔室具有相對設(shè)置的開口，所述相對設(shè)置的開口分別由上蓋板和下蓋板進(jìn)行封閉。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的干涉物鏡驅(qū)動裝置，其特征在于，所述安裝架上形成有安裝干涉物鏡的螺紋。
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