[實用新型]一種單晶硅爐用筒狀加熱器有效
| 申請號: | 201320739148.8 | 申請日: | 2013-11-20 |
| 公開(公告)號: | CN203583008U | 公開(公告)日: | 2014-05-07 |
| 發明(設計)人: | 劉添華;王云;谷長穎;孔令歆 | 申請(專利權)人: | 山東偉基炭科技有限公司 |
| 主分類號: | C30B29/06 | 分類號: | C30B29/06 |
| 代理公司: | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人: | 苗峻 |
| 地址: | 250101 山東省濟南市高新區*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 單晶硅 爐用筒狀 加熱器 | ||
1.一種單晶硅爐用筒狀加熱器,包括筒體和支腿(1),其特征是:所述筒體是由若干片呈圓周分布的長條形石墨板(2)組裝而成的圓筒狀,相鄰的兩片石墨板(2)之間具有間隙并通過石墨塊(4)連接成為一體,所述支腿(1)可拆卸地與所述筒體連接。
2.根據權利要求1所述的單晶硅爐用筒狀加熱器,其特征是:所述石墨板(2)為4×N片。
3.根據權利要求2所述的單晶硅爐用筒狀加熱器,其特征是:所述石墨板(2)為12片。
4.根據權利要求1或2或3所述的單晶硅爐用筒狀加熱器,其特征是:所述石墨板(2)上開有沿其軸向的貫通至筒體上端的槽(7),相鄰的兩片石墨板(2)之間通過設在筒體上端的所述石墨塊(4)連接成為一體。
5.根據權利要求4所述的單晶硅爐用筒狀加熱器,其特征是:所述石墨板(2)的上端側邊設有缺口,所述石墨塊(4)嵌設在相鄰兩片石墨板(2)所形成的缺口內。
6.根據權利要求1或2或3所述的單晶硅爐用筒狀加熱器,其特征是:所述支腿(1)上及與支腿(1)相連接的筒體的石墨板(2)上均設有臺階,二者通過臺階配合。
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