[實用新型]一種微細孔拉絲模內孔沉積金剛石薄膜裝置

有效

• 申請號: 201320736185.3
• 申請日: 2013-11-21
• 公開（公告）號: CN203559121U
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 殷世春
• 申請（專利權）人: 宜興市先行金剛石納米涂層科技有限公司
• 主分類號: C23C16/44
• 分類號: C23C16/44;C23C16/27
• 代理公司: 宜興市天宇知識產權事務所(普通合伙) 32208
• 代理人: 李妙英

1.一種微細孔拉絲模內孔沉積金剛石薄膜的裝置，包括真空爐罩、設置于真空爐罩的放置平臺，所述真空爐罩近端部開設有進氣口，底端開設有抽氣口，其特征在于放置平臺上方設置有熱絲架，所述真空爐罩頂端正對拉絲以及拉絲模設置有風扇。

2.根據權利要求1所述的一種微細孔拉絲模內孔沉積金剛石薄膜的裝置，其特征在于所述熱絲架上水平間隔纏繞有熱絲，相鄰熱絲間的間距為8~10mm。

3.根據權利要求1所述的一種微細孔拉絲模內孔沉積金剛石薄膜的裝置，其特征在于所述放置平臺為可旋轉的平臺。