[實(shí)用新型]一種環(huán)狀壓電式微加速度傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320733460.6
• 申請(qǐng)日: 2013-11-20
• 公開（公告）號(hào): CN203561646U
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫遠(yuǎn)程;姚明秋;蘇偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號(hào): G01P15/09
• 分類號(hào): G01P15/09
• 代理公司: 中國(guó)工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長(zhǎng)明

1.一種環(huán)狀壓電式微加速度傳感器，其特征在于：所述的傳感器包括敏感芯片（11）、上玻璃板（10）、下玻璃板（9）；其中，敏感芯片（11）含有第一壓電層（1）、第二壓電層（2）、第一上電極（4）、第二上電極（5）、第一下電極（6）、第二下電極（7）、支撐膜（3）、外框（12）、圓柱狀的質(zhì)量塊（8）；所述的第二壓電層（2）、第一壓電層（1）由內(nèi)外兩個(gè)圓環(huán)構(gòu)成；第一上電極（4）、第二上電極（5）、第一下電極（6）、第二下電極（7）均為環(huán)狀；其連接關(guān)系是,所述的第一下電極（6）、第二下電極（7）設(shè)置于支撐膜（3）上表面，并與支撐膜（3）上表面固定連接；所述的第一壓電層（1）、第二壓電層（2）分別設(shè)置于第一下電極（6）、第二下電極（7）的上表面，并與第一下電極（6）、第二下電極（7）的上表面固定連接；所述的第一上電極（4）、第二上電極（5）分別設(shè)置于第一壓電層（1）、第二壓電層（2）的上表面，并與第一壓電層（1）、第二壓電層（2）的上表面固定連接；所述的質(zhì)量塊（8）懸置于第一下電極（6）、第二下電極（7）之下，并與支撐膜（3）固定連接；所述的支撐膜（3）與外框（12）固定連接；所述的敏感芯片（11）與上玻璃板（10）、下玻璃板（9）分別通過鍵合連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)狀壓電式微加速度傳感器，其特征在于：所述的敏感芯片（11）中的第一下電極（6）與第一上電極（4）直徑相同，第二下電極（7）與第二上電極（5）直徑相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)狀壓電式微加速度傳感器，其特征在于：所述的質(zhì)量塊（8）與第二下電極（7）為同軸設(shè)置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)狀壓電式微加速度傳感器，其特征在于：所述的第一壓電層（1）、第二壓電層（2）、第一下電極（6）、第二下電極（7）、第一上電極（4）、第二上電極（5）均為同軸設(shè)置。

5.根據(jù)權(quán)利要求l所述的環(huán)狀壓電式微加速度傳感器，其特征在于：所述的第一壓電層（1）外圓的直徑大于第一上電極（4）外圓、第一下電極（6）外圓的直徑；所述的第一壓電層（1）內(nèi)圓的直徑小于第一上電極（4）內(nèi)圓、第一下電極6內(nèi)圓的直徑；所述的第二壓電層（2）外圓的直徑大于第二上電極（5）外圓、第二下電極（7）外圓的直徑；所述的第二壓電層（2）內(nèi)圓的直徑小于第二上電極（5）內(nèi)圓、第二下電極（7）內(nèi)圓的直徑。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)狀壓電式微加速度傳感器，其特征在于：所述的圓柱狀質(zhì)量塊（8）表面圓的直徑大于第二上電極（5）、第二下電極（7）內(nèi)圓的直徑。