[實用新型]用于光刻機曝光臺的清潔裝置有效
| 申請號： | 201320729766.4 | 申請日： | 2013-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN203606624U | 公開（公告）日： | 2014-05-21 |
| 發明（設計）人： | 潘敏煒;陳群琦 | 申請（專利權）人： | 上海華虹宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;B08B5/02;B08B15/04 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 31211 | 代理人： | 丁紀鐵 |
| 地址： | 201203 上海市浦東*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 光刻 曝光 清潔 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種用于光刻機曝光臺的清潔裝置，其特征在于：包括一操作桿、與所述操作桿相連接的移動件，所述移動件靠近曝光臺的底部具有一凹腔，所述凹腔通過一進氣管與一氮氣源或清潔干燥的空氣源相連，通過一出氣管與一抽真空裝置相連。
2.根據權利要求1所述的用于光刻機曝光臺的清潔裝置，其特征在于：所述移動件具有一進氣孔和一出氣孔，所述進氣孔的一端與凹腔相連通，另一端與進氣管相連，所述出氣孔的一端與凹腔相連通，另一端與出氣管相連。
3.根據權利要求1所述的用于光刻機曝光臺的清潔裝置，其特征在于：所述移動件的頂部具有一環扣，所述操作桿的端部連接在環扣上。
4.根據權利要求1所述的用于光刻機曝光臺的清潔裝置，其特征在于：所述進氣管的材質是特氟龍。
5.根據權利要求1所述的用于光刻機曝光臺的清潔裝置，其特征在于：所述移動件由陶瓷材質制成。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海華虹宏力半導體制造有限公司，未經上海華虹宏力半導體制造有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201320729766.4/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種木工鉆床數控定位裝置
- 下一篇：立體攝像裝置
