[實(shí)用新型]一種石英坩堝熔制機(jī)通風(fēng)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320729736.3
• 申請日: 2013-11-16
• 公開（公告）號: CN203639310U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 祝軍武;高喜梅;張新麗
• 申請（專利權(quán)）人: 西安艾力特電子實(shí)業(yè)有限公司
• 主分類號: C03B5/16
• 分類號: C03B5/16;C03B20/00
• 代理公司: 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215
• 代理人: 弋才富

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種石英坩堝系統(tǒng)領(lǐng)域，特別是涉及一種石英坩堝熔制機(jī)通風(fēng)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

真空電弧法生產(chǎn)石英坩堝設(shè)備是目前世界上生產(chǎn)坩堝最先進(jìn)的技術(shù)設(shè)備。它以電弧為熱源，離心成型的工藝制造坩堝。其特點(diǎn)是設(shè)備可操作性強(qiáng)，工藝成熟，產(chǎn)品利潤空間大，市場前景廣闊。石英玻璃坩堝是單晶硅生產(chǎn)中的關(guān)鍵必需品，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的龍頭產(chǎn)業(yè)。廣泛應(yīng)用于電子、化工等諸多行業(yè)。用電弧法制的半導(dǎo)體半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當(dāng)今，世界半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)達(dá)國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。主要是采用電弧為熱源，離心成型為基礎(chǔ)，融化預(yù)先成型的高純石英粉料，通過抽真空制造高純度內(nèi)層透明，外層乳白的石英坩堝裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種石英坩堝熔制機(jī)通風(fēng)系統(tǒng)，主要是由一套出風(fēng)系統(tǒng)，一套進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)組成，具體包括，熔制機(jī)殼1、進(jìn)風(fēng)道2、循環(huán)風(fēng)機(jī)I3、進(jìn)風(fēng)罩4、出風(fēng)罩5、出風(fēng)道6、隔音壁7、溫度傳感器8和循環(huán)風(fēng)機(jī)II9組成；所述隔音壁7位于熔制機(jī)殼1內(nèi)部。

所述進(jìn)風(fēng)道2位于隔音壁7的頂部，所述循環(huán)風(fēng)機(jī)I3安裝在進(jìn)風(fēng)道2的進(jìn)口處，所述進(jìn)風(fēng)道2的進(jìn)口處置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)罩4。

所述出風(fēng)道6位于隔音壁7的底部，所述循環(huán)風(fēng)機(jī)II9安裝在出風(fēng)道6的出口處，所述出風(fēng)道6的出口處置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)罩5。

所述隔音壁7的內(nèi)部，多處置有溫度傳感器8，實(shí)時(shí)監(jiān)測溫度。

本實(shí)用新型采用采用一套進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)，一套出風(fēng)系統(tǒng)，并且在內(nèi)部多出安裝溫度傳感器一實(shí)時(shí)檢測溫度，便于控制通風(fēng)系統(tǒng)。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的示意圖。

具體實(shí)施方式

參照圖1中，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為一種石英坩堝熔制機(jī)通風(fēng)系統(tǒng)，主要是由一套出風(fēng)系統(tǒng)，一套進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)組成，具體包括，熔制機(jī)殼1、進(jìn)風(fēng)道2、循環(huán)風(fēng)機(jī)I3、進(jìn)風(fēng)罩4、出風(fēng)罩5、出風(fēng)道6、隔音壁7、溫度傳感器8和循環(huán)風(fēng)機(jī)II9組成；所述隔音壁7位于熔制機(jī)殼1內(nèi)部。

進(jìn)一步地，所述進(jìn)風(fēng)道2位于隔音壁7的頂部，所述循環(huán)風(fēng)機(jī)I3安裝在進(jìn)風(fēng)道2的進(jìn)口處，所述進(jìn)風(fēng)道2的進(jìn)口處置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)罩4。

進(jìn)一步地，所述出風(fēng)道6位于隔音壁7的底部，所述循環(huán)風(fēng)機(jī)II9安裝在出風(fēng)道6的出口處，所述出風(fēng)道6的出口處置有一個(gè)進(jìn)風(fēng)罩5。

進(jìn)一步地，所述隔音壁7的內(nèi)部，多處置有溫度傳感器8，實(shí)時(shí)監(jiān)測溫度。

以上所述，僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，并非對本實(shí)用新型作任何限制，凡是根據(jù)本實(shí)用新型技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。