[實用新型]芯片與藍膜分離裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320728915.5 | 申請日： | 2013-11-18 |
| 公開（公告）號： | CN203659910U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 代克明 | 申請（專利權）人： | 深圳盛世天予科技發(fā)展有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 深圳市碩法知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 44321 | 代理人： | 李姝 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區(qū)*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 芯片 分離 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種芯片與藍膜分離裝置，其特征在于：包括分離機座，所述分離機座上設置有一分離驅動裝置，所述分離驅動裝置驅動一芯片分離筒上下移動，所述芯片分離筒為開口向上的筒形，所述芯片分離筒內(nèi)設置有一芯片頂針，所述頂針與開口齊平或稍低于開口，所述芯片分離筒管接一真空發(fā)生器。
2.根據(jù)權利要求1所述芯片與藍膜分離裝置，其特征在于：所述芯片分離筒通過一芯片分離外筒連接分離驅動裝置。
3.根據(jù)權利要求1所述芯片與藍膜分離裝置，其特征在于：所述分離驅動裝置固定在一微調(diào)滑臺上，所述微調(diào)滑臺滑動設置在分離機座上。
4.根據(jù)權利要求1所述芯片與藍膜分離裝置，其特征在于：所述芯片分離筒還通過一破真空電磁閥連接外界。
5.根據(jù)權利要求1所述芯片與藍膜分離裝置，其特征在于：所述分離機座上設置有一與外界控制裝置電性連接的通信端口。
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