[實(shí)用新型]一種切割中單晶硅的應(yīng)急超聲波清洗裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320722956.3 | 申請(qǐng)日： | 2013-11-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203648911U | 公開（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳吉祥;李競(jìng)宇;張建國(guó) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 龍巖市華德光電有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/12 | 分類號(hào)： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 364101 福建省龍巖*** | 國(guó)省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 切割 單晶硅 應(yīng)急 超聲波 清洗 裝置 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種切割中單晶硅的應(yīng)急超聲波清洗裝置，其特征在于：包括控制柜、超聲波發(fā)生器和清洗槽，所述的控制柜與超聲波發(fā)生器連接用于控制超聲波發(fā)生器，所述超聲波發(fā)生器設(shè)置在清洗槽內(nèi)部，所述清洗槽內(nèi)具有單晶硅擱置架，所述單晶硅擱置架底部通過一個(gè)導(dǎo)軌與清洗槽連接，所述單晶硅擱置架可以在清洗槽內(nèi)滑動(dòng)，所述清洗槽底部設(shè)置有排渣孔和排水口。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割中單晶硅的應(yīng)急超聲波清洗裝置，其特征在于：所述單晶硅擱置架具有一個(gè)把手。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種切割中單晶硅的應(yīng)急超聲波清洗裝置，其特征在于：所述的排水孔處設(shè)置有一個(gè)濾網(wǎng)。
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