[實用新型]多晶硅還原爐有效
| 申請號： | 201320721251.X | 申請日： | 2013-11-13 |
| 公開（公告）號： | CN203529943U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 張亞劍 | 申請（專利權）人： | 寧波天琪電子有限公司 |
| 主分類號： | C01B33/035 | 分類號： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 寧波市鄞州金源通匯專利事務所(普通合伙) 33236 | 代理人： | 唐迅 |
| 地址： | 315104 浙江省寧波市鄞*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 還原 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅還原爐，包括爐架（1），安裝在爐架（1）上的爐體（2）以及安裝在爐架（1）與爐體（2）之間的底盤（3），所述爐體（2）與底盤（3）配合構成一中空的腔室（4），在底盤（3）上安裝有電極（5），電極（5）上安裝有石墨件（6），硅芯棒（7）位于上述腔室（4）內且與所述石墨件（6）連接，在底盤（3）上還貫穿有兩路以上的進氣分管（8）和一出氣管（11），上述的進氣分管（8）的一端口和出氣管（11）的一端口均延伸進入上述腔室（4），其特征在于：上述的進氣分管（8）的另一端口連接一個共同容納腔（10），該共同容納腔（10）的一側連接有進氣總管（9）。
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