[實用新型]一種酸性廢蝕刻液的銅回收循環系統

有效

• 申請號: 201320718766.4
• 申請日: 2013-11-09
• 公開（公告）號: CN203602718U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發明（設計）人: 陳飆
• 申請（專利權）人: 陳飆
• 主分類號: C23F1/46
• 分類號: C23F1/46;C22B7/00;C22B3/26;C25C1/12;C22B15/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種酸性廢蝕刻液的銅回收循環系統，包括酸性蝕刻機，其特征在于：還包括與蝕刻機的蝕刻液出口管道連接且對蝕刻機的酸性廢蝕刻液進行銅萃取和反萃取的銅萃取-反萃取箱，銅萃取-反萃取箱設置有酸性廢蝕刻液入口(51)，含銅反萃取劑出口(52)，反萃取劑入口(53)，銅萃取劑出口(54)，提銅廢蝕刻液出口(55)和銅萃取劑入口(56)，銅萃取劑出口(54)與銅萃取劑入口(56)通過管道相連；該銅萃取-反萃取箱包括由一級萃取槽和二級萃取槽組成的兩級萃取機構以及由反萃取槽組成的一級反萃取機構；?

還包括與蝕刻機的蝕刻液入口管道連接的蝕刻液組份調節的組份調配缸，上述提銅廢蝕刻液出口(55)連接有去除裝置，去除裝置與組份調配缸相連接；?

還包括與上述含銅反萃取劑出口(52)相連的電解沉積槽，電解沉積槽內包含多個小的電解槽，該小的電解槽由多個用作陽極的鈦活性板和用作陰極的紫銅片并聯組成；電解沉積槽整體密閉，電解沉積槽的入口和出口分別為電解槽含銅反萃取劑入口(61)和電解槽反萃取劑出口(62)，電解槽反萃取劑出口(62)通過管道連接至上述反萃取劑入口(53)。?

2.如權利要求1所述的一種酸性廢蝕刻液的銅回收循環系統，其特征在于：所述銅萃取-反萃取箱上的酸性廢蝕刻液入口(51)與蝕刻機的蝕刻液出口之間的連接管道上設置有酸性廢蝕刻液中轉箱(10)和第一控制閥(11)；?

所述銅萃取-反萃取箱上的含銅反萃取劑出口(52)與電解沉積槽上設置的電解槽含銅反萃取劑入口(61)之間的連接管道上設有含銅反萃取劑中轉箱(20)和第一控制泵(21)；?

所述銅萃取-反萃取箱上的反萃取劑入口(53)與電解沉積槽上設置的電解槽含反萃取劑出口(62)之間的連接管道上設有反萃取劑中轉箱(40)和第三控制泵(41)；?

所述銅萃取-反萃取箱上的銅萃取劑出口(54)和銅萃取劑入口(56)之?間的連接管道上設置有第二控制泵(31)；?

所述組份調配缸與蝕刻機的蝕刻液入口之間的管道上設置有第四控制泵(71)和控制閥(72)。?

3.如權利要求1所述的一種酸性廢蝕刻液的銅回收循環系統，其特征在于：所述組份調配缸內安裝有用于將蝕刻液攪拌均勻的攪拌機。?