[實(shí)用新型]基板位置偏差調(diào)整裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320717797.8
• 申請(qǐng)日: 2013-11-13
• 公開（公告）號(hào): CN203728253U
• 公開（公告）日: 2014-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 龔金金;吳康成;林永富
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海和輝光電有限公司
• 主分類號(hào): B65H5/08
• 分類號(hào): B65H5/08;B65H5/14
• 代理公司: 隆天國際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 付永莉;黃艷

1.一種基板位置偏差調(diào)整裝置，用于對(duì)機(jī)械手所運(yùn)送的基板進(jìn)行調(diào)整，其特征在于，該基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機(jī)械手上，以對(duì)由所述機(jī)械手運(yùn)送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整，使得所述基板在進(jìn)入下一工序之前即完成位置偏差調(diào)整，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個(gè)側(cè)部以及沿著機(jī)械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個(gè)側(cè)部中的每一個(gè)側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸整合到所述機(jī)械手的控制部中，通過所述縱向部實(shí)現(xiàn)所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸與所述側(cè)部的電氣連接，從而實(shí)現(xiàn)控制所述側(cè)部的上下運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)。?

2.如權(quán)利要求1所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述基板位置偏差調(diào)整裝置設(shè)置于所述機(jī)械手的下方。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括多個(gè)水平部、分別位于每個(gè)水平部兩側(cè)的兩個(gè)側(cè)部以及沿著所述機(jī)械手的手臂的縱向延伸的縱向部。?

4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸分別位于所述水平部的上、下面上。?

5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)氣缸和所述導(dǎo)軌氣缸可以對(duì)所述側(cè)部執(zhí)行反向復(fù)位操作。?

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的基板位置偏差調(diào)整裝置，其特征在于，所述基板位置偏差調(diào)整裝置呈支架的形式且設(shè)置于所述機(jī)械手的尾部。?

7.一種機(jī)械手，用于傳送基板，其特征在于，該機(jī)械手設(shè)置有基板位置偏差調(diào)整裝置，以對(duì)由所述機(jī)械手運(yùn)送的基板進(jìn)行位置偏差調(diào)整，使得所述基板在進(jìn)入下一工序之前即完成位置偏差調(diào)整，所述基板位置偏差調(diào)整裝置包括水平部、位于水平部兩側(cè)的兩個(gè)側(cè)部以及沿著機(jī)械手的手臂的縱向延伸的縱向部，所述兩個(gè)側(cè)部中的每一個(gè)側(cè)部均由旋轉(zhuǎn)氣缸和導(dǎo)軌氣缸來進(jìn)行控制，以使所述側(cè)部執(zhí)行上下運(yùn)動(dòng)和水平運(yùn)動(dòng)。?