[實用新型]粗糙度或表面微結構紋理-測量設備

有效

• 申請號: 201320717649.6
• 申請日: 2013-11-14
• 公開（公告）號: CN203908492U
• 公開（公告）日: 2014-10-29
• 發明（設計）人: U·布萊特邁爾
• 申請（專利權）人: 布萊特邁爾測量技術有限責任公司
• 主分類號: G01B7/34
• 分類號: G01B7/34
• 代理公司: 北京市路盛律師事務所 11326
• 代理人: 唐超塵

1.一種粗糙度或表面微結構紋理-測量設備，其用來對測量物體的測量物體表面(12)的粗糙度或表面微結構紋理進行測量，該測量設備具有：?

殼體(6)；?

測頭，該測頭包括至少一個彎桿(1)，該彎桿基本上設置在殼體中或完全設置在殼體中或從殼體(6)中伸出來，?

其中，至少一個表面觸碰體(14)固定在該彎桿(1)上，該表面觸碰體用來接觸地或非接觸地或準非接觸地探測測量物體表面(12)的粗糙度或表面微結構紋理；?

機動化的或設置有致動器的驅動器，該驅動器用來使表面觸碰體(14)線性地或平面地沿著行駛路徑移動觸碰路徑長度；?

至少一個測量系統，用來探測表面觸碰體(14)相對于測量物體表面(12)的位置，其中，該測量系統包括至少一個設置在彎桿(1)上的壓電電阻，該壓電電阻用來探測所述彎桿(1)的曲度，并因此探測表面觸碰體(14)相對于測量物體表面(12)的位置；以及?

驅動電子部件、數據探測電子部件和/或評估電子部件(12)和/或計算機接口，?

其特征在于，?

所述彎桿(1)通過能輕易拆卸的連接器與驅動器能拆卸地相連。?

2.根據權利要求1所述的測量設備，其特征在于，能輕易拆卸的連接器指插頭、耦合器或夾子。?

3.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，所述彎桿(1)?由硅構成。?

4.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，所述測量系統包括多個壓電電阻，這些壓電電阻構成壓電電阻的測量電橋，用來探測彎桿(1)的曲度并因此探測表面觸碰體(14)相對于測量物體表面(12)的位置。?

5.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，在彎桿側在能拆卸的連接器之前設置用于壓電電阻的傳感器信號的放大器，并且設置有模擬-數字轉換器。?

6.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，在彎桿側在能拆卸的連接器之前設置用于測量電橋的傳感器信號的放大器，并且設置有模擬-數字轉換器。?

7.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，所述表面觸碰體(14)的觸碰尖端(16)具有小于10微米的觸碰尖端半徑。?

8.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，所述表面觸碰體(14)的觸碰尖端(16)具有小于100納米的觸碰尖端半徑。?

9.根據權利要求8所述的測量設備，其特征在于，在觸碰尖端半徑小于100納米的觸碰尖端所在的側面上，所述彎桿(1)在其整個長度上在該觸碰尖端(15)和其彎桿-端部之間構造有平坦的、無隆起的表面。?

10.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，在彎桿(1)的第一側上設置有形式為觸碰尖端(15)的第一表面觸碰體，其觸碰尖端半徑小于100納米，并且在彎桿(1)的第二側上或在彎桿(1)背向第一側的第二側上設置第二表面觸碰體，其形式為具有金鋼石-觸碰尖端的金鋼石-?探針。?

11.根據權利要求10所述的測量設備，其特征在于，所述金鋼石-觸碰尖端具有小于10微米或小于5微米或在1至3微米之間或為2微米的金鋼石-觸碰尖端半徑。?

12.根據權利要求10所述的測量設備，其特征在于，在觸碰尖端半徑小于100納米的觸碰尖端所在的側面上，所述彎桿(1)在其整個長度上在該觸碰尖端(15)和其彎桿-端部之間構造有平坦的、無隆起的表面。?

13.根據權利要求1或2所述的測量設備，其特征在于，彎桿(1)在彎桿縱向軸線的方向上延伸，并且所述驅動器與彎桿(1)一起能夠手動地或者機動地相對于殼體(6)垂直于彎桿縱曲線在與之平行的彎桿平面中移動和/或轉動。?

14.根據權利要求13所述的測量設備，其特征在于，在垂直于彎桿縱軸線延伸的方向上看，所述彎桿(1)具有矩形的橫截面，該橫截面由平行于彎桿縱軸線延伸的彎桿-表面限定，其中，兩個相互平行的彎桿表面相互之間具有相當于彎桿(1)的高度的間距，并且在平行于矩形橫截面的方向上看分別在彎桿(1)的寬度上延伸，其中，彎桿(1)的寬度大于所述彎桿(1)的高度，并且其中，彎桿平面平行于所述的兩個相互平行的彎桿表面進行延伸。?