[實用新型]硅片承載裝置、硅片運輸裝置和硅片印刷設備

有效

• 申請號: 201320716929.5
• 申請日: 2013-11-13
• 公開（公告）號: CN203528073U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 郝曉波
• 申請（專利權）人: 英利能源（中國）有限公司
• 主分類號: B41F23/04
• 分類號: B41F23/04
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 吳貴明;張永明

1.一種硅片承載裝置，其特征在于，包括：

承載部（10），包括用于承載硅片的承載平面（100）；

加熱裝置（20），設置在所述承載部（10）內或所述承載部的一側以對位于所述承載平面（100）上的所述硅片進行加熱。

2.根據權利要求1所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述承載部（10）包括承載板（11），所述承載板（11）的一側形成所述承載平面（100），所述加熱裝置（20）設置在所述承載板（11）的與所述承載平面（100）相對的另一側。

3.根據權利要求2所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述承載部（10）還包括腔體（12），所述加熱裝置（20）設置在所述腔體（12）內。

4.根據權利要求3所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述承載板（11）上開設有多個氣孔（111）。

5.根據權利要求4所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述硅片承載裝置還包括氣泵，所述氣泵的吸氣端與所述腔體（12）連接。

6.根據權利要求1所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述硅片承載裝置還包括隔熱部，所述隔熱部沿所述承載平面（100）的周向設置在所述承載部（10）的四周。

7.根據權利要求1所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述硅片承載裝置還包括底座（30）和支柱（40），所述支柱（40）的一端與所述底座（30）連接，所述支柱（40）的另一端與所述承載部（10）連接。

8.根據權利要求2所述的硅片承載裝置，其特征在于，所述加熱裝置（20）包括電熱絲（21），所述電熱絲（21）與所述承載板（11）間隔地設置。

9.一種硅片運輸裝置，包括硅片承載裝置和用于驅動所述硅片承載裝置的驅動部，其特征在于，所述硅片承載裝置是權利要求1至8中任一項所述的硅片承載裝置。

10.一種硅片印刷設備，包括印刷頭和硅片運輸裝置，其特征在于，所述硅片運輸裝置是權利要求9所述的硅片運輸裝置。