[實(shí)用新型]鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320709867.5 | 申請日： | 2013-11-12 |
| 公開（公告）號： | CN203625235U | 公開（公告）日： | 2014-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 曹俊 | 申請（專利權(quán)）人： | 無錫康力電子有限公司 |
| 主分類號： | C03C17/00 | 分類號： | C03C17/00 |
| 代理公司： | 南京天華專利代理有限責(zé)任公司 32218 | 代理人： | 徐冬濤;苗建 |
| 地址： | 214253 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鍍膜 玻璃 用硅靶 水冷 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中設(shè)有水冷隔離板（2），水冷隔離板（2）的上方形成冷卻水槽，水冷隔離板（2）的下方設(shè)有磁鐵（3），在所述冷卻水槽的上方設(shè)有銅背板（4），銅背板（4）的上方設(shè)有硅靶（5）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍膜玻璃用硅靶水冷卻系統(tǒng)，其特征是所述水冷隔離板（2）采用SUS316不銹鋼材料制成。
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