[實用新型]一種電泳輔助超聲振動驅動磨粒運動拋光微孔的裝置有效
| 申請號： | 201320708029.6 | 申請日： | 2013-11-11 |
| 公開（公告）號： | CN203611072U | 公開（公告）日： | 2014-05-28 |
| 發明（設計）人： | 何俊峰;郭鐘寧;連海山;陳鐵牛 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學 |
| 主分類號： | B24B1/04 | 分類號： | B24B1/04 |
| 代理公司： | 廣州三環專利代理有限公司 44202 | 代理人： | 顏希文;宋靜娜 |
| 地址： | 510006 廣東省廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 電泳 輔助 超聲 振動 驅動 運動 拋光 微孔 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種電泳輔助超聲振動驅動磨粒運動拋光微孔的裝置，包括超聲加工機床，其特征在于，還包括工作液槽、電泳直流電源、工具、工作液、超微磨粒、微孔工件、電泳輔助圓形電極；
所述超聲加工機床包括主軸系統、進電系統、主軸超聲縱振系統；
所述電泳直流電源通過所述進電系統，其正極與工具連接，其負極與電泳輔助圓形電極連接；
所述工具的端面應能覆蓋所需拋光的微孔，且其與微孔工件的表面至少保持一個振幅的距離；
所述超微磨粒分布在工作液中，超微磨粒的平均粒徑小于1微米；
所述微孔工件，其微孔直徑小于等于50微米。
2.如權利要求1所述的電泳輔助超聲振動驅動磨粒運動拋光微孔的裝置，其特征在于，所述微孔工件為單微孔工件。
3.如權利要求1所述的電泳輔助超聲振動驅動磨粒運動拋光微孔的裝置，其特征在于，所述微孔工件為群微孔工件。
4.如權利要求1所述的電泳輔助超聲振動驅動磨粒運動拋光微孔的裝置，其特征在于，所述工作液槽安裝在最小分辨率為0.1微米的三維運動平臺上。
5.如權利要求1或4所述的電泳輔助超聲振動驅動磨粒運動拋光微孔的裝置，其特征在于，所述超微磨粒不帶電，由于其表面能很大，能夠吸附溶液中的負電荷呈現負電。
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