[實用新型]熔絲結構、電阻及電路有效

申請號：	201320701478.8	申請日：	2013-11-07
公開（公告）號：	CN203631538U	公開（公告）日：	2014-06-04
發明（設計）人：	陳金園;黎智;李志廣;李嬌	申請（專利權）人：	北大方正集團有限公司;深圳方正微電子有限公司
主分類號：	H01L23/525	分類號：	H01L23/525;H01L23/64
代理公司：	北京銀龍知識產權代理有限公司 11243	代理人：	許靜;黃燦
地址：	100871 北京市海淀***	國省代碼：	北京;11
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摘要：
搜索關鍵詞：	結構電阻電路
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【說明書】：

技術領域

本實用新型涉及電路制造領域，更具體的，涉及一種熔絲結構、電阻及電路。?

背景技術

在集成電路制造工藝中通常用到熔絲結構來調節產品振蕩器的頻率，fuse本質上就是一個電阻，其材料通常是易于熔融的導電金屬或多晶硅。如圖1所示，fuse結構的電路原理即一系列并聯的電阻，每一根fuse條相當于一個電阻Rx,每燒熔一處熔絲就等于斷開一個電阻，總的并聯電阻就會相應變化一個值ΔR并，具體可由并聯電路電阻計算公式計算：1/R并=（1/R1+1/R2+…+1/Rn，這里的電阻數量不固定，實際可根據產品頻率調節需要以及芯片制作空間而定，相應的產品振蕩器的頻率也會變化一個值Δf，具體值可由頻率計算公式計算：f=1/2∏RC，其中∏為常數。由頻率計算公式可知，要拓寬頻率可調節范圍，理論上可以擴展電阻R或電容C的變化范圍。?

根據電阻的物體計算公式：R=ρL/S可知，式中：ρ為物質的電阻率，單位為歐姆米（Ω.m)。L為長度，單位為米（m）；S為截面積，單位為平方米（m2）。因此，在電阻率一定的情況下，阻值與長度L和截面積S有關，因此，改變電阻阻值可通過改變熔絲長度L和截面積S來改變電阻R，如圖2所示。?

fuse結構其核心思想是通過燒熔fuse，根據設計需要來調節電阻值，所以它不僅可以調節頻率，放在其它電路結構里還可以起別的作用，比如還可以調節電壓等。此熔絲結構具有可移植性，嵌在不同電路里可以實現不同的調節功能，但其根本作用在于可以拓寬相應功能參數的可調節范圍，這樣讓產品參數可以有更大的波動空間等同于拓寬了產品的功能窗口，這才是此項技術的真正價值所在。?

現有的fuse結構基本都是由三部分組成：熔絲兩端的連接部分A/C以及中間的熔絲部分B，如圖3所示。其中虛線框代表fuse開窗區域，兩端的連接部分屬外圍電路不在開窗區域內，中間區域B即為熔絲部分。在熔絲和連接部分的交接處（B與A/C交界處）為便于制作通常設計成梯形或半圓弧形等形狀。?

現有結構中改變電阻的大小通常都是通過改變fuse條的寬度來實現的，如圖4。改變寬度實際上是改變了橫截面積，根據電阻計算公式不難看出，橫截面積變化會相應改變阻值。現有的一些研究資料及專利中涉及到的fuse結構圖形基本都是直線型的。?

如圖5所示，常規fuse結構熔絲部分皆為直線型，常見的fuse寬度在0.6～1.5um之間，長度在1～10um左右。整個fuse開窗都在襯底上方，熔絲材料通常為金屬或多晶硅材料。圖6為多根直線型熔絲并聯的電路示意圖。綜上，現有直線型熔絲結構通過改變熔絲長度和寬度來改變阻值，其改變幅度都是非常有限的。?

因此，現有技術中，存在直線型的熔絲結構所帶來的阻值調節范圍有限的問題。?

實用新型內容

本實用新型提供的熔絲結構、電阻及電路，用于解決現有技術中存在直線型的熔絲結構所帶來的阻值調節范圍有限的問題。?

為實現上述目的，根據本實用新型的一個方面，提供一種熔絲結構，并采用以下技術方案：?

熔絲結構，包括兩端部與熔絲本體，所述熔絲本體為非直線型結構，所述非直線型結構的首部和尾部分別與所述兩端部相連接。?

進一步地，所述非直線型結構包括一個或多個所述弓形結構。?

進一步地，所述弓形結構的轉角角度為90度。?

進一步地，所述非直線型結構包括一個或多個所述折線結構。?

進一步地，所述弓形結構中相互平行的熔絲間距大于或等于所述熔絲所在的管芯內部線條間距。?

根據本實用新型的另外一個方面，提供一種電阻，并采用如下技術方案：?

電阻包括：上述的熔絲結構；以及襯底；所述熔絲結構設置在所述襯底的開窗區域內。?

進一步地，所述熔絲結構的兩端部分別從所述開窗區域的兩端引出。?