[實(shí)用新型]柔性基板處理裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320698616.1
• 申請(qǐng)日: 2013-11-07
• 公開（公告）號(hào): CN203588979U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡世星;習(xí)王鋒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山工研院新型平板顯示技術(shù)中心有限公司;昆山國(guó)顯光電有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11228
• 代理人: 張瑾

1.一種柔性基板處理裝置，包括用于盛放處理液的處理槽、位于所述處理液液面下方的定位輥輪、位于所述處理液液面上方的主動(dòng)輥輪和被動(dòng)輥輪，其特征在于，所述柔性基板處理裝置還包括：

用于檢測(cè)卷繞在所述主動(dòng)輥輪、所述定位輥輪以及所述被動(dòng)輥輪上的柔性基板的實(shí)時(shí)線速度，并根據(jù)所述實(shí)時(shí)線速度計(jì)算出所述定位輥輪實(shí)時(shí)位置數(shù)據(jù)的檢測(cè)計(jì)算裝置，所述檢測(cè)計(jì)算裝置與所述主動(dòng)輥輪或被動(dòng)輥輪連接；

用于根據(jù)所述實(shí)時(shí)位置數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)調(diào)整所述定位輥輪的位置的位移調(diào)整裝置，所述位移調(diào)整裝置分別與所述檢測(cè)計(jì)算裝置以及所述定位輥輪連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述檢測(cè)計(jì)算裝置為距離傳感器和計(jì)算終端，所述距離傳感器與所述主動(dòng)輥輪或所述被動(dòng)輥輪相連接，所述距離傳感器與所述計(jì)算終端通信連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述檢測(cè)計(jì)算裝置包括激光厚度檢測(cè)儀和計(jì)算終端，所述激光厚度檢測(cè)儀與所述主動(dòng)輥輪或所述被動(dòng)輥輪相連接，所述激光厚度檢測(cè)儀與所述計(jì)算終端通信連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述計(jì)算終端為電腦或服務(wù)器。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述位移調(diào)整裝置為步進(jìn)電機(jī)及控制帶，所述步進(jìn)電機(jī)通過(guò)所述控制帶與所述定位輥輪相連。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的柔性基板處理裝置，其特征在于，所述控制帶為絲杠。