[實用新型]面向規則金剛石工具頭超精密研磨/拋光加工平臺

有效

• 申請號: 201320695779.4
• 申請日: 2013-11-07
• 公開（公告）號: CN203636514U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 趙宏偉;韓磊;高景;張鵬;閆紀旺;佟達;魯帥;劉宏達;程虹丙;董曉龍
• 申請（專利權）人: 吉林大學
• 主分類號: B24B3/00
• 分類號: B24B3/00
• 代理公司: 吉林長春新紀元專利代理有限責任公司 22100
• 代理人: 王怡敏

1.一種面向規則金剛石工具頭超精密研磨/拋光加工平臺，包括平臺支撐裝置、三自由度裝置、力傳感器與聲發射傳感器控制單元、工具頭加持單元，其特征在于：所述三自由度裝置分別提供Z軸轉動、Y軸轉動、Z軸移動，三自由度裝置提供工件所需要的加工位置和向下的載荷力；所述力傳感器與聲發射傳感器控制單元包括力傳感器（13）及聲發射傳感器（25），由連接環（12）、法蘭（14）和工具頭加持單元（11）固定，力傳感器（13）通過連接環（12）、法蘭（14）測量工件在加工過程中所受到的作用力；聲發射傳感器（25）與金剛石工具頭（10）接觸，監控加工時材料去除動態過程；所述力傳感器與聲發射傳感器控制單元連接三自由度傳動裝置與工具頭加持單元。

2.根據權利要求1所述的面向規則金剛石工具頭超精密研磨/拋光加工平臺，其特征在于：所述的三自由度裝置由安川交流伺服旋轉電機（15）、脈沖控制數字舵機（16）、安川交流伺服直線電機（19）組成，Z軸移動由安川交流伺服直線電機（19）提供，通過緊固螺釘Ⅰ（20）固定在連接板（1）上，電機具有自鎖并自帶編碼器，能夠實現對轉速的檢測，形成半閉環控制，電機的輸出軸、滾珠絲杠（23）與聯軸器（21）通過緊固螺釘Ⅱ（22）相連，滾珠絲杠（23）與絲杠螺母（18）相連接，絲杠螺母（18）與滑塊（7）通過內六角螺釘Ⅱ（17）相連，Z軸位移沿導軌（6）產生；Y軸旋轉由脈沖控制數字舵機（16）提供，數字舵機通過緊固螺釘固定在滑塊（7）上，舵機由數字脈沖控制，舵機以單脈沖1分度為單位繞Y軸旋轉，舵機具有自鎖功能，實現待加工面的角度調整；Z軸旋轉由安川交流伺服旋轉電機（15）提供，并通過緊固螺釘將其固定在舵機上，安川交流伺服旋轉電機具有自鎖并自帶編碼器，能夠實現對轉速的檢測，形成半閉環控制，嚴格輸出需要的角度。

3.根據權利要求1所述的面向規則金剛石工具頭超精密研磨/拋光加工平臺，其特征在于：所述的力傳感器（13）與法蘭（14）、連接環（12）相連，夾頭（11）與連接環（12）螺紋連接，同時通過調整兩者的位置使聲發射傳感器（25）與金剛石工具頭（10）相接觸。

4.根據權利要求1所述的面向規則金剛石工具頭超精密研磨/拋光加工平臺，其特征在于：所述的工具頭加持單元的金剛石夾頭（11）與連接環（12）螺紋連接，并通過緊固螺釘Ⅲ（24）將金剛石工具頭（10）固定。

5.根據權利要求1所述的面向規則金剛石工具頭超精密研磨/拋光加工平臺，其特征在于：所述的平臺支撐裝置由拋光臺（8）、立柱（2）、支撐塊（4）組成，拋光盤（9）由閉環控制電路控制研磨/拋光轉速并固定于拋光臺（8）中心，支撐塊（4）通過緊固螺栓（5）固定在立柱（2）上，連接板（1）通過內六角螺釘Ⅰ（3）固定于支撐塊上。