[實用新型]晶硅片切割液混料裝置

有效

• 申請號: 201320690764.9
• 申請日: 2013-11-05
• 公開（公告）號: CN203577707U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 王杰;高敏杰;張孟雷;王行展;王紅霞;宋漫漫;徐元清;袁慶冬
• 申請（專利權）人: 河南新大新材料股份有限公司
• 主分類號: B01F13/02
• 分類號: B01F13/02
• 代理公司: 河南科技通律師事務所 41123
• 代理人: 張建東

1.一種晶硅片切割液混料裝置，包括混料罐，其特征在于：還包括鼓氣機構，所述鼓氣機構包括連通于對應的氣源的進氣管（9）和安裝于該進氣管（9）尾端的布氣管(15)，該布氣管(15)設置于所述混料罐(10)中，且其上設有布氣微孔；所述混料罐(10)上設有用于調節該混料罐(10)內、外壓差的放散管（5）和安全閥（4）。

2.如權利要求1所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述布氣管（15）設于所述混料罐（10）底部或靠近底部的位置。

3.如權利要求1或2所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述布氣管（15）的底部表面分布有至少一個孔徑為1～2毫米的布氣微孔。

4.如權利要求3所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：在所述進氣管上還設有氣浮增壓器（16），該氣浮增壓器（16）自上而下為一端直徑漸縮的圓管，其主進氣口（17）與進氣管（9）的空腔的氣源相連接，該主進氣口（17）的孔徑大于所述氣浮增壓器出口（16）的孔徑，該氣浮增壓器（16）內部設有與氣浮增壓器（16）內腔對應的錐筒型氣浮腔內襯（18），該氣浮腔內襯（18）的粗糙度等級Ra≤3.2。

5.如權利要求3所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述放散管（5）和安全閥（4）處于混料罐頂部。

6.如權利要求3所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述卸料管（12）上設有保安過濾器（13）和卸料閥（14）。

7.如權利要求3所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述進氣管（5）沿氣流依次串連有進氣閥（8）、氣水分離器（7）和單向閥（6）。

8.如權利要求3所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述混料罐（10）為316不銹鋼。

9.如權利要求3所述的晶硅片切割液混料裝置，其特征在于：所述進料管（1）上設有進料閥（2）。