[實用新型]一種縱橫交錯溝槽式多氣體獨立通道的噴淋結構

有效

• 申請號: 201320683055.8
• 申請日: 2013-10-31
• 公開（公告）號: CN203559124U
• 公開（公告）日: 2014-04-23
• 發明（設計）人: 凌復華;吳鳳麗;陳英男;王燚;國建花
• 申請（專利權）人: 沈陽拓荊科技有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455
• 代理公司: 沈陽維特專利商標事務所(普通合伙) 21229
• 代理人: 甄玉荃

1.一種縱橫交錯溝槽式多氣體獨立通道的噴淋結構，其特征在于：它包括噴淋頭主體、隔板、擋板、蓋板、內圈配氣環蓋板、外圈配氣環蓋板，上述主體上設有橫向溝槽及縱向溝槽，橫向溝槽及縱向溝槽間形成凸臺，凸臺上制有貫通孔，上述橫向溝槽及縱向溝槽上制有半通孔，上述主體的上部設有蓋板；下部腔體內設有隔板，隔板將噴淋結構整體分隔為上層空間及下層空間兩個獨立的空間，上述隔板上的導氣柱分別與蓋板上的外圈配氣環蓋板、內圈配氣環蓋板、氣體B進口及氣體C進口相通，上述蓋板上設有氣體A進口，氣體A進口下設擋板，上述噴淋頭主體上設有氣體C出口、氣體B出口及氣體A出口。