[實用新型]一種五維對心平臺有效
| 申請號: | 201320678909.3 | 申請日: | 2013-10-30 |
| 公開(公告)號: | CN203643316U | 公開(公告)日: | 2014-06-11 |
| 發明(設計)人: | 劉春磊;常洋;寧召科;姚曉永 | 申請(專利權)人: | 北京航天易聯科技發展有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/01 | 分類號: | G01N21/01;G01N21/39 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 100074 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 對心 平臺 | ||
1.一種五維對心平臺,其特征在于,包括底座(1),以及設置在底座上且相對于底座的位置可調的檢測探頭安裝裝置(2)和五維調節裝置(3);
所述檢測探頭安裝裝置(2)上安裝有檢測探頭,所述檢測探頭安裝裝置(2)能夠調整檢測探頭在X、Y方向上的位置,所述五維調節裝置(3)上安裝有準直器,所述五維調節裝置(3)能夠調整準直器在X、Y、Z方向上,以及XY平面和XZ平面上的位置。
2.根據權利要求1所述的五維對心平臺,其特征在于,所述底座(1)上均勻的設置有若干個安裝孔(4),所述檢測探頭安裝裝置(2)和五維調節裝置(3)通過螺釘安裝在底座(1)的任意位置。
3.根據權利要求2所述的五維對心平臺,其特征在于,所述安裝孔(4)之間的間距為25mm。
4.根據權利要求1所述的五維對心平臺,其特征在于,所述檢測探頭安裝裝置(2)包括卡盤支架(21),設置在卡盤支架(21)上的卡盤(22),以及設置在卡盤(22)上的卡爪(23)。
5.根據權利要求1所述的五維對心平臺,其特征在于,所述五維調節裝置(3)能夠帶動準直器在X、Y、Z方向上的移動范圍為-12.5mm至+12.5mm,其在X、Y、Z方向上的調整精度為10μm。
6.根據權利要求1所述的五維對心平臺,其特征在于,所述五維調節裝置(3)能夠帶動準直器在XY平面、XZ平面上轉動,其轉動精度為-10°至+10°。
7.根據權利要求1所述的五維對心平臺,其特征在于,所述五維調節裝置(3)上設置有準直器安裝裝置(31),所述準直器安裝裝置(31)的直徑3.2mm-4mm。
8.根據權利要求7所述的五維對心平臺,其特征在于,所述檢測探頭安裝裝置(2)上設置有檢測探頭保護裝置,所述準直器安裝裝置(31)上設置有準直器保護裝置。
9.根據權利要求4所述的五維對心平臺,其特征在于,所述卡盤(22)上設置有4個對稱分布的卡爪(23)。
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