[實用新型]過濾器濾材和過濾器單元

有效

• 申請號: 201320678708.3
• 申請日: 2013-10-30
• 公開（公告）號: CN203577526U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 森將明;堀江百合;新井雅弘;內山志穗
• 申請（專利權）人: 日東電工株式會社
• 主分類號: B01D46/52
• 分類號: B01D46/52
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本實用新型涉及用于捕集被過濾氣體所含有的顆粒的過濾器濾材和使用該過濾器濾材的過濾器單元，特別是涉及對能夠捕集該顆粒的濾材原材進行褶锏加工而成的過濾器濾材和使用該過濾器濾材的過濾器單元。

背景技術

以往，作為在制造半導體、液晶的工廠的無塵室等中使用的過濾器濾材，公知有圖6所示那樣的過濾器濾材100。該過濾器濾材100是通過對構成為能夠捕集被過濾氣體所含有的顆粒的濾材原材200在多處彎曲而形成為皺襞狀而成的。

該過濾器濾材100包括通過使濾材原材200彎曲而形成的彎曲部100a、以濾材原材200中的除彎曲部100a之外的區域相對的方式配置而形成的多個平板部100b、以及用于保持相鄰的平板部100b、100b彼此的間隔的多個間隔保持部300。

該間隔保持部300由多個肋（bead）部300a形成，肋部300a是通過在濾材原材200的兩個面上空開間隔地涂敷粘接劑（熱熔膠等）而形成的。具體地講，間隔保持部300是通過在濾材原材200的一面側中的各平板部100b之間及另一面側中的各平板部100b之間將一面側和另一面側的肋部300a、300a分別接合而形成的。也就是說，間隔保持部300形成在濾材原材200的一面側中的各平板部100b之間及另一面側中的各平板部100b之間。

如圖7的（a）所示，像上述那樣構成的過濾器濾材100被收容在以能夠收容過濾器濾材的方式構成的框體A內而構成過濾器單元110。該框體A包括：一對相對壁A1、A1，其以空開間隔地相對的方式配置；以及連結壁A2，其將該一對相對壁A1、A1的外周部彼此連結起來。并且，構成為能夠在由一對相對壁A1、A1和連結壁A2圍成的空間（以下也記作內部空間）AR內收容過濾器濾材100。一對相對壁A1、A1具有與內部空間AR相連通的開口部A3、A3。由此，框體A構成為能夠使被過濾氣體自一個開口部A3側朝向另一個開口部A3側地通過內部空間AR。

由框體A收容的過濾器濾材100配置于內部空間AR中的一個相對壁A1側，過濾器濾材100的外周部固定于框體A。由此，在過濾器濾材100與另一個相對壁A1之間形成有間隔。

像上述那樣構成的過濾器單元110以使過濾器濾材100的長度L1方向與被過濾氣體的流通方向F交叉（具體地講是大致正交）的方式配置。也就是說，過濾器單元110以使被過濾氣體自過濾器濾材100的高度L3方向與過濾器濾材100相接觸的方式配置。由此，自框體A的一個開口部A3流入到過濾器單元110的內部的被過濾氣體在內部空間AR內透過過濾器濾材100而自框體A的另一個開口部A3排出。

因此，當使被過濾氣體在過濾器單元110內流通時，由于被過濾氣體的風壓、過濾器濾材100的壓力損失的上升，如圖7的（b）所示，有可能過濾器濾材100的中央部會朝向被過濾氣體的流通方向F的下游側鼓出而使過濾器濾材100成為彎曲了的狀態。

這樣的過濾器濾材100的彎曲會導致過濾器單元的壓力損失的增加或過濾效率的降低。另外，當過濾器濾材100的彎曲變得過大時，有時還會產生過濾器單元110的破損。

作為防止上述那樣的過濾器濾材的彎曲的方法，提出有各種方案。例如，提出有如下的方法：通過降低用于構成過濾器濾材的濾材原材的初始的壓力損失、或者使過濾器濾材的有效面積增加，從而降低過濾器濾材的時效變化的壓力損失的上升而抑制因風壓產生的過濾器濾材的彎曲（參照專利文獻1）。另外，提出有如下的方法：將剛性高于過濾器濾材的剛性的構件（以下也記作剛性構件）安裝于過濾器濾材，從而利用該剛性構件來抑制過濾器濾材的彎曲（參照專利文獻2和專利文獻3）。

然而，如上所述，在降低過濾器濾材的時效變化的壓力損失的上升的方法中，對來自被過濾氣體的顆粒進行捕集的捕集性能有可能降低。另外，如上所述，在使用剛性構件的方法中，要花費用于準備剛性構件的成本，而且在制作過濾器濾材、過濾器單元時花費的勞力和時間，這會導致生產效率的降低。

專利文獻1：日本特開2002－292215號公報

專利文獻2：日本特開平11－42410號公報

專利文獻3：國際公開第2005/077492號文件

實用新型內容

因此，本實用新型的課題在于，提供能夠防止因被過濾氣體的風壓而產生意外的變形的過濾器濾材和使用該過濾器濾材的過濾器單元。