[實用新型]精確傳輸高真空機械手臂

有效

• 申請號: 201320676976.1
• 申請日: 2013-10-30
• 公開（公告）號: CN203573965U
• 公開（公告）日: 2014-04-30
• 發明（設計）人: 廖海濤;郭衛衛
• 申請（專利權）人: 無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104
• 代理人: 曹祖良

技術領域

本實用新型涉及一種機械手臂，具體的說是一種精確傳輸高真空機械手臂。

背景技術

在半導體制造過程中，晶圓一般是利用傳輸系統將其從一個工作臺搬運到另一個工作臺。在特殊的工藝范圍內，晶圓需要從大氣狀態下進入高真空環境中進行工藝處理，此時對反應腔里面真空度以及晶圓位置的精確性有嚴格要求，若真空度和晶圓傳輸的位置達不到要求，會產生晶圓的劃傷，破片，報廢。

通常半導體制造過程中會使用一種真空手臂進行傳輸，但是由于特殊的工藝腔體對真空及晶圓傳輸位置要求極高，一般的真空手臂使用0-ring密封，在手臂長時間運動過程中會使O-ring密封很難達到高真空的精確要求,影響了晶圓的良率。

有鑒與此，提供一種不影響腔體工藝真空要求以及精確傳輸晶圓的機械手臂實為必要。

發明內容

本實用新型的目的在于克服上述不足之處，從而提供一種精確傳輸高真空機械手臂，能在高真空狀態下進行精密傳輸作業，傳動位置精確無誤，確保半導體工藝過程中高真空的需求。

按照本實用新型提供的技術方案，精確傳輸高真空機械手臂包括固定支架，其特征是：固定支架上部連接上支架，下部連接下支架。下支架內設有下軸承，滾珠絲桿安裝在下軸承中，滾珠絲桿下部穿過下支架連接升降電機，滾珠絲桿上通過螺紋連接旋轉電機支架。旋轉電機支架上轉動連接主軸，主軸上端連接臂體；在主軸上設有上軸承，上軸承和上支架之間設有滑動密封件；旋轉電機支架上固定旋轉電機，旋轉電機通過齒輪傳動機構連接帶動主軸轉動。

進一步的，上支架上端固定密封盤。

進一步的，齒輪傳動機構包括連接在旋轉電機上的主動齒輪和連接在主軸上的從動齒輪，主動齒輪和從動齒輪互相嚙合。

本實用新型與已有技術相比具有以下優點：

本實用新型結構簡單、緊湊、合理，能在高真空狀態下進行精密傳輸作業，傳動位置精確無誤，確保半導體工藝過程中高真空的需求。

附圖說明

圖1為本實用新型結構示意圖。

附圖標記說明：1-固定支架、2-上支架、3-下支架、4-滑動密封件、5-手臂體、6-密封盤、7-旋轉電機、8-上軸承、9-旋轉電機支架、10-滾珠絲桿、11-下軸承、12-升降電機、13-主軸。

具體實施方式

下面本實用新型將結合附圖中的實施例作進一步描述：

如圖1所示，本實用新型主要包括固定支架1，固定支架1上部連接上支架2，下部連接下支架3。

下支架3內設有下軸承11，滾珠絲桿10安裝在下軸承11中，滾珠絲桿10下部穿過下支架3連接升降電機12。滾珠絲桿10上通過螺紋連接旋轉電機支架9。

旋轉電機支架9上轉動連接主軸13，主軸13上端連接臂體5。在主軸13上設有上軸承8，上軸承8和上支架2之間設有滑動密封件4。

旋轉電機支架9上固定旋轉電機7，旋轉電機7通過齒輪傳動機構連接帶動主軸13轉動。

所述齒輪傳動機構包括連接在旋轉電機7上的主動齒輪和連接在主軸13上的從動齒輪，主動齒輪和從動齒輪互相嚙合。

所述上支架2上端固定密封盤6。

本實用新型結構簡單、緊湊、合理，能在高真空狀態下進行精密傳輸作業，傳動位置精確無誤，確保半導體工藝過程中高真空的需求。