[實用新型]一種快速循環氣冷真空爐有效
| 申請號: | 201320669634.7 | 申請日: | 2013-10-28 |
| 公開(公告)號: | CN203534207U | 公開(公告)日: | 2014-04-09 |
| 發明(設計)人: | 施戈;彭建;陳良賢 | 申請(專利權)人: | 北京泰科諾科技有限公司 |
| 主分類號: | F27D9/00 | 分類號: | F27D9/00 |
| 代理公司: | 北京金智普華知識產權代理有限公司 11401 | 代理人: | 皋吉甫 |
| 地址: | 102212 北京市昌*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 快速 循環 氣冷 真空爐 | ||
1.一種快速循環氣冷真空爐,其特征在于,所述氣冷真空爐包括真空爐(1)、快速循環氣冷系統和抽氣閥(8),其中,所述快速循環氣冷系統包括:
截止閥(2);
水冷管道(3),設置在真空爐(1)的兩側回路中;
壓力傳感器(4),設置在水冷管道(3)上;
充氣閥門(7),所述充氣閥門(7)與壓力傳感器(4)的配合控制循環氣體的用量和所述真空爐(1)的腔室內壓力;
羅茨泵(5),所述羅茨泵(5)與所述抽氣閥(8)構成抽真空部分,用于所述真空爐(1)的腔室的快速抽真空;所述截止閥(2)與抽氣閥(8)配合切換所述羅茨泵(5)的工作模式,使其分別處于抽真空模式和循環氣冷兩種模式。
2.根據權利要求1所述的氣冷真空爐,其特征在于,所述真空爐(1)的爐腔內壓力在100~20000Pa范圍內變動。
3.根據權利要求2所述氣冷真空爐?,其特征在于,所述真空爐(1)的兩側開口與羅茨泵(5)的進氣口和出氣口串聯成回路,在真空爐(1)的兩側回路中還設置了熱交換裝置。
4.?根據權利要求3所述氣冷真空爐,其特征在于,所述快速循環氣冷系統還包括變頻電機(6),所述變頻電機(6)驅動所述羅茨泵(5)并且控制羅茨泵(5)的轉速,使得所述羅茨泵(5)在獲得足夠的壓縮比的同時能夠維持在合理的轉速。
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