[實(shí)用新型]MEMS麥克風(fēng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320665288.5 | 申請(qǐng)日： | 2013-10-25 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203574861U | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-04-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 潘旭東;黎健泉 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 瑞聲聲學(xué)科技(深圳)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | H04R19/04 | 分類(lèi)號(hào)： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 518057 廣東省深圳市南山區(qū)高*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | mems 麥克風(fēng) | ||
1.一種MEMS麥克風(fēng)，其包括第一線路板、置于第一線路板上的ASIC芯片和設(shè)有背腔的MEMS芯片、與所述第一線路板相隔一定間距的第二線路板、位于第一線路板與第二線路板之間并且與第一線路板和第二線路板形成內(nèi)腔的框架，其特征在于：所述框架設(shè)有與所述第一線路板相對(duì)的第一表面以及與所述第二線路板相對(duì)的第二表面，所述第一表面和第二表面通過(guò)粘著劑分別與所述第一線路板和第二線路板連接，所述第一表面與所述第一線路板之間設(shè)有焊劑隔離圈，所述焊劑隔離圈位于所述粘著劑的內(nèi)側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述第二表面與所述第二線路板之間也設(shè)有焊劑隔離圈。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述第一線路板設(shè)有聲孔，所述聲孔與所述MEMS芯片的背腔連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述框架設(shè)有貫通的金屬化通孔，所述第一線路板與所述第二線路板通過(guò)所述金屬化通孔以及粘著劑電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一權(quán)利要求所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述粘著劑為錫膏。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述焊劑隔離圈為油墨。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS麥克風(fēng)，其特征在于：所述框架設(shè)有內(nèi)壁，所述框架的內(nèi)壁、第一表面以及第二表面均設(shè)有金屬涂層。
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