[實用新型]可調節的硅片放置架有效
| 申請號： | 201320662276.7 | 申請日： | 2013-10-25 |
| 公開（公告）號： | CN203536391U | 公開（公告）日： | 2014-04-09 |
| 發明（設計）人： | 何晨旭;朱姚培 | 申請（專利權）人： | 江蘇榮馬新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/673 | 分類號： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 淮安市科文知識產權事務所 32223 | 代理人： | 謝觀素 |
| 地址： | 223799 江蘇省宿*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 調節 硅片 放置 | ||
【權利要求書】：
1.?可調節的硅片放置架，包括兩根上桿（2）和兩根下桿（3），所述上桿（2）和下桿（3）的兩端分別與立架（1）固定，其特征在于：所述上桿（2）和下桿（3）的端部分別固定于立架（1）所設的條型通孔A（4）和條型通孔B（5）內。
2.?如權利要求1所述的可調節的硅片放置架，其特征在于：所述條型通孔A（4）與條形通孔B（5）平行。
3.?如權利要求2所述的可調節的硅片放置架，其特征在于：所述條型通孔A（4）的長度大于條型通孔B（5）的長度。
4.?如權利要求1所述的可調節的硅片放置架，其特征在于：所述上桿（2）和下桿（3）的端部分別設有螺紋，通過螺母（7）與立架（1）固定。
5.?如權利要求1所述的可調節的硅片放置架，其特征在于：所述立架（1）的底部設有支座（6）。
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
