[實用新型]二維加速度微傳感器

有效

• 申請號: 201320655006.3
• 申請日: 2013-10-23
• 公開（公告）號: CN203519644U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 黃友華
• 申請（專利權）人: 成都市宏山科技有限公司
• 主分類號: G01P15/18
• 分類號: G01P15/18;G01P15/125
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及微電子領域，更具體的說是涉及一種二維加速度微傳感器。

背景技術

加速度計是測量載體慣性加速度的儀器，其運用在很多方面。譬如航天航空領域。慣性導航和制導都是以加速度計敏感測量載體運動加速度為基礎，因此加速度計的性能直接影響到整個系統的測量精度穩定性以及最終的導航精度。現有的加速度傳感器其只能檢測一個方向的加速度，不能對多個方向的加速度進行檢測。

實用新型內容

本實用新型提供一種二維加速度微傳感器，其可檢測兩個垂直方向的加速度。

為解決上述的技術問題，本實用新型采用以下技術方案：

二維加速度微傳感器，它包括支撐壁和十字活動極板，所述的十字活動極板的四端上均固定有彈性梁，所述的支撐壁的對應兩邊上均固定有兩個電容極板，所述的電容極板位于兩個垂直面上，四個電容極板分別位于十字活動極板與支撐壁所圍成的區域內，所述的支撐壁上與彈性梁接觸處均設置有加速孔。

更進一步的技術方案是:

作為優選，所述的加速孔的面積小于支撐壁與彈性梁的接觸面積。

進一步的，所述的加速孔的面積小于支撐壁與彈性梁的接觸面積的二分之一。

作為優選，所述的十字活動極板和電容極板均連接在信號處理電路上。

作為優選，所述的兩個垂直面之間的距離小于6毫米。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型可檢測垂直兩個方向上的加速度，適用面更廣，使用也更方便。

附圖說明

下面結合附圖和具體實施方式對本實用新型作進一步詳細說明。

圖1為本實用新型的結構示意圖。

圖中的標號為：1、支撐壁；2、彈性梁；3、十字活動極板；4、電容極板；5、加速孔。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步的說明。本實用新型的實施方式包括但不限于下列實施例。

[實施例]

如圖1所示的二維加速度微傳感器，它包括支撐壁1和十字活動極板3，所述的十字活動極板3的四端上均固定有彈性梁2，所述的支撐壁1的對應兩邊上均固定有兩個電容極板4，所述的電容極板4位于兩個垂直面上，四個電容極板4分別位于十字活動極板3與支撐壁1所圍成的區域內，所述的支撐壁1上與彈性梁2接觸處均設置有加速孔5。

為了使整個加速度計的結構更穩定，所述的加速孔5的面積小于支撐壁1與彈性梁2的接觸面積。

所述的加速孔5的面積小于支撐壁1與彈性梁2的接觸面積的二分之一。一個方向的加速度通過加速孔作用于彈性梁2上，為了使與該彈性梁對面的彈性梁的結構更穩定，不會從加速孔5內滲出，加速孔的面積不應過大。

所述的十字活動極板3和電容極板4均連接在信號處理電路上。

為了進一步的提高測量精度，所述的兩個垂直面之間的距離小于6毫米。

本實施例的工作過程如下：

十字活動極板3包括橫向活動極板和縱向活動極板。當一個豎直方向的加速度，即沿縱向活動板的方向，通過加速孔作用于彈性梁時，彈性梁伸縮，十字活動極板3會沿豎直方向移動，即縱向活動板會向上或向下移動，則縱向活動板與位于橫向活動板兩側的電容極板會產生一個差動變化的電容值，通過信號處理電路對變化的值進行處理，即可測得該加速度。當一個水平方向的加速度，即沿橫向活動板的方向，通過加速孔作用于彈性梁時，彈性梁伸縮，十字活動極板3會沿水平方向移動，即縱向活動板會向左或向右移動，則縱向活動板與位于橫向活動板兩側的電容極板會產生一個差動變化的電容值，通過信號處理電路對變化的值進行處理，即可測得該加速度。

本實用新型可檢測垂直兩個方向上的加速度，即可檢測橫向和縱向的及速度，其適用面更廣，使用也更方便。

如上所述即為本實用新型的實施例。本實用新型不局限于上述實施方式，任何人應該得知在本實用新型的啟示下做出的結構變化，凡是與本實用新型具有相同或相近的技術方案，均落入本實用新型的保護范圍之內。