[實用新型]差分電容式微加速度計有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320654608.7 | 申請日： | 2013-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN203519641U | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發(fā)明（設計）人： | 黃友華 | 申請（專利權）人： | 成都市宏山科技有限公司 |
| 主分類號： | G01P15/125 | 分類號： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 610000 四川省*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電容 式微 加速度計 | ||
【權利要求書】：
1.差分電容式微加速度計，其特征在于：它包括上移動板（12）、下移動板（11）和固定在上移動板（12）和下移動板（11）上的彈性梁（5），所述的上移動板（12）和下移動板（11）的兩個相對面上分別固定有上活動極板和下活動極板，所述的上移動板（12）和下移動板（11）之間還設置有固定極板（4），所述的固定極板（4）為菱形。
2.根據(jù)權利要求1所述的差分電容式微加速度計，其特征在于：所述的上活動極板包括左上活動極板（32）和右上活動極板（31），所述的下活動極板包括左下活動極板（22）和右下活動極板（21）。
3.根據(jù)權利要求2所述的差分電容式微加速度計，其特征在于：所述的左上活動極板（32）和左下活動極板（22）位于同一垂直面上，所述的右上活動極板（31）和右下活動極板（21）位于同一垂直面上。
4.根據(jù)權利要求3所述的差分電容式微加速度計，其特征在于：所述的固定極板（4）位于左上活動極板（32）和右上活動極板（31）的中間。
5.根據(jù)權利要求4所述的差分電容式微加速度計，其特征在于：所述的固定極板（4）的一條對稱軸位于左上活動極板（32）和左下活動極板（22）的中線上。
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