[實(shí)用新型]晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320654285.1
• 申請(qǐng)日: 2013-10-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203602755U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱萍;茅陸榮;李廣敏;繆錦泉;那日薩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海森松化工成套裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B35/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B35/00;C30B29/20
• 代理公司: 上海晨皓知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)，包含真空管，所述真空管的出口端與晶體生長(zhǎng)爐爐體連接，所述的晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)還包含：套設(shè)在所述真空管進(jìn)口端的法蘭，其特征在于：

所述晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)還包含：套設(shè)在所述真空管上的夾套和封板，所述夾套的兩端為不封閉的具有開(kāi)口；

所述法蘭和所述封板分別位于與所述夾套的兩側(cè)，封閉所述夾套兩側(cè)的開(kāi)口，使所述夾套內(nèi)部形成腔體；

所述夾套上還設(shè)有一個(gè)與所述腔體連通的進(jìn)口管，和一個(gè)與所述腔體連通的出口管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：套設(shè)在所述真空管上的夾套與所述真空管出口端連接的晶體生長(zhǎng)爐爐體之間存在預(yù)設(shè)長(zhǎng)度的間距。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述進(jìn)口管和所述出口管沿豎直方向，對(duì)稱(chēng)設(shè)置在所述夾套上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述封板與所述夾套之間采用焊接連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的晶體生長(zhǎng)爐真空管冷卻結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述夾套和所述法蘭之間采用焊接連接。