[實用新型]激光打標機與附屬吸塵器的互鎖電路

有效

• 申請號: 201320652719.4
• 申請日: 2013-10-22
• 公開（公告）號: CN203552325U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 錢敏;劉立成;劉波
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G07C9/00
• 分類號: G07C9/00
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 丁紀鐵

技術領域

本實用新型涉及集成電路制造領域，特別是涉及激光打標機與附屬吸塵器的互鎖電路。

背景技術

激光打標機在對硅片進行激光打標時，需要將附屬吸塵器打開，該吸塵器用于將打標時從硅片表面飛濺出至腔體空間內的碎屑吸走，避免硅片表面污染。普通的作業方式是：操作員手動開啟吸塵器后，再進行主機臺的激光打標作業。由于原有機臺并沒有將主機臺與附屬吸塵器進行聯動，所以即使不打開吸塵器電源，主機臺仍可進行打標作業，這樣會影響硅片表面潔凈度，造成產品質量問題。為了避免操作員可能的失誤，即在未開啟吸塵器的情況下進行激光打標作業，必須想辦法將吸塵器開關信號串聯入激光打標機主機臺作業開始互鎖確認信號中（激光打標機主機臺原有安全互鎖回路見圖2，主機臺周圍各個蓋板上有磁性開關，在主機臺周圍蓋板處于打開狀態時，安全互鎖回路斷開，主機臺報警，不可進行激光打標作業）。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種激光打標機與附屬吸塵器的互鎖電路，它可以確保激光打標作業在吸塵器開啟的狀態下進行。

為解決上述技術問題，本實用新型的激光打標機與附屬吸塵器的互鎖電路，除原有的激光打標機主機臺周邊蓋板安全互鎖回路和吸塵器電路外，還包括有交流轉直流開關電源、直流繼電器和機臺互鎖連接導線；其中：

交流轉直流開關電源，用于將吸塵器供電電源引出的交流電轉換成直流電；

直流繼電器，用于根據交流轉直流開關電源是否得電來自動控制激光打標機主機臺蓋板安全互鎖回路的開閉；

機臺互鎖連接導線，用于將直流繼電器串聯入激光打標機主機臺蓋板安全互鎖回路。

本實用新型通過在激光打標機主機臺原有互鎖回路中加入附屬吸塵器開關信號，解決了吸塵器不開啟也可以打標的問題，保證了激光打標作業在吸塵器開啟的狀態下進行，從而保證了硅片表面潔凈度，避免了因操作人員未開啟吸塵器而造成的產品質量問題。

附圖說明

圖1是原吸塵器電路框圖。

圖2是原激光打標機主機臺周邊蓋板安全互鎖回路。

圖3是本實用新型的互鎖電路結構相比圖2主機臺原有的互鎖回路結構新增加的電路結構示意圖。

圖4是圖3的電路與圖2主機臺原有的互鎖回路的連接方式示意圖。

圖5是本實用新型將吸塵器開關信號加入激光打標機主機臺原有互鎖回路后最終形成的互鎖電路結構示意圖（即圖1-3的電路組合）。

具體實施方式

為對本實用新型的技術內容、特點與功效有更具體的了解，現結合圖示的實施方式，詳述如下：

本實施例的激光打標機與附屬吸塵器的互鎖電路的結構請參見圖5所示，在激光打標機和其附屬吸塵器的原有電路結構中，增加了如圖3所示的電路結構。新增加的電路結構中包括有交流轉直流開關電源、直流繼電器和機臺互鎖連接導線。其中：

交流轉直流開關電源，本實施例采用的型號為S-50-24，輸入交流電：100～120VAC，1.3A，200～240VAC，0.65A，頻率50/60Hz；輸出直流電：+24V，2.1A。交流轉直流開關電源用于將激光打標機附屬吸塵器供電電源引出的100V交流電轉換成24V直流電。

直流繼電器，本實施例采用的是帶干節點的24V直流繼電器，型號：MY2N-D2，24VDC。

機臺互鎖連接導線用于利用直流繼電器干節點，將直流繼電器的得電信號串聯為激光打標機主機臺蓋板安全互鎖回路的一部分。

以下對上述互鎖電路實現激光打標機和附屬吸塵器互鎖功能的原理和方法進行詳細的說明。

如圖2所示，激光打標機主機臺原有蓋板安全互鎖回路中，主機臺周圍各個蓋板上均有磁性感應器節點（即磁性開關），將其中一個磁性感應器節點斷開，串聯入由吸塵器馬達電源提供的新的直流繼電器信號，得到如圖4、5所示的電路結構。

當吸塵器未打開時，激光打標機主機臺原有蓋板安全互鎖回路呈斷開狀態，此時，激光打標機主機臺會有報警，且不會進行打標作業。

當吸塵器開關打開時，吸塵器主繼電器吸合，供給吸塵器風機馬達100V交流電源，在吸塵器主繼電器與吸塵器馬達之間有接線排，引出100V電源給交流轉直流開關電源，交流轉直流開關電源得電后，使直流繼電器吸合，由于直流繼電器的一組接點已經串聯入激光打標機主機臺原有的蓋板安全互鎖回路，因此，此時蓋板安全互鎖回路接通，激光打標機主機臺互鎖條件得到滿足，激光打標機主機臺開始進行激光打標作業。

這樣，通過在激光打標機主機臺蓋板安全互鎖回路中串聯入由吸塵器馬達電源提供的直流繼電器信號，就使激光打標機主機臺對吸塵器電源開關具有了感知功能，從而實現了打標機正常工作必須將附屬吸塵器開啟的互鎖功能。