[實(shí)用新型]一種真空低溫泵中的組合冷板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320647676.0
• 申請日: 2013-10-18
• 公開（公告）號: CN203548125U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃文成
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山珍實(shí)復(fù)合材料有限公司
• 主分類號: F04B39/06
• 分類號: F04B39/06;F04B37/08
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11246
• 代理人: 連平

技術(shù)領(lǐng)域：

本實(shí)用新型涉及真空低溫泵的技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說涉及一種真空低溫泵中結(jié)構(gòu)改進(jìn)的組合冷板。

背景技術(shù)：

低溫泵，又稱冷凝泵，是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵。其可以獲得抽氣速率最大、極限壓力最低的清潔真空，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究和生產(chǎn)，以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。而作為其冷凝氣體所用的冷板則是其關(guān)鍵的部件。現(xiàn)有的低溫泵的二級冷板內(nèi)一般設(shè)有一個(gè)陣列組合的冷板來增加冷凝空氣的目的，現(xiàn)有的陣列組合的冷板如圖1所示，其頂板1和陣列板2通過螺栓8固定在冷板支架3上，現(xiàn)有的冷板支架3的側(cè)壁一般較薄，其上的螺紋的牙一般較少，同時(shí)其冷板支架3一般采用紫銅制成，銅材材質(zhì)較軟，所以其螺栓8易發(fā)生滑絲，從而頂板1和陣列板2未能穩(wěn)固的固定在冷板支架3上。

實(shí)用新型內(nèi)容：

本實(shí)用新型的目的就是針對現(xiàn)有技術(shù)之不足，而提供一種結(jié)構(gòu)改進(jìn)的真空低溫泵中的組合冷板，其夠有效地將陣列板和頂板固定在冷板支架上。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的真空低溫泵中的組合冷板包括有頂板和陣列板，其中，陣列板的中心成型有貫穿的槽孔，槽孔相對側(cè)邊的陣列板上成型有縱向的固定板，所述的陣列板插套在冷板支架上，陣列板的固定板靠在冷板支架的兩側(cè)板上，陣列板的固定板和冷板支架的側(cè)板插接有兩組相對的彎管，彎管的中部橫管壓靠在固定板上，兩組彎管上相對的一端分別螺接在連接管的兩端，連接管固定有與連接管相連通的進(jìn)液管，進(jìn)液管上端穿過冷板支架的上板和冷板的頂板并螺接有螺母，頂板通過螺母固定在冷板支架上。

作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述的連接管上成型有貫穿連接管外壁的螺紋孔，進(jìn)液管上成型有外螺紋，連接管螺接在進(jìn)液管上，進(jìn)液管成型有沉孔與連接管相連通。

作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述的連接管兩端的管內(nèi)壁上成型有螺旋方向相反的螺紋，彎管兩端成型有外螺紋，相對的彎管的外螺紋為螺旋方向相反的螺紋。

作為上述技術(shù)方案的優(yōu)選，所述的陣列板的固定板上成型有通孔，彎管兩側(cè)的豎管穿插在固定板的通孔內(nèi)。

本實(shí)用新型的有益效果在于：其利用彎管和進(jìn)液管來固定連接頂板和陣列板，有效的將陣列板和頂板固定在冷板支架上避免了螺栓滑絲而致使頂板和陣列板從冷板支架脫落的現(xiàn)象。另外，其進(jìn)液管可以與壓縮機(jī)相連通，從而增加冷板冷卻降溫的速度，從而提高了冷凝空氣的速度。

附圖說明：

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說明：

圖1為現(xiàn)有的組合冷板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型換角度的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型的陣列板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中符號說明：

1－頂板；2－陣列板；3－冷板支架；4－彎管；5－連接管；6－進(jìn)液管；7－螺母；8－螺栓；21－槽孔；22－固定板；23－通孔。

具體實(shí)施方式：

以下所述僅為體現(xiàn)本實(shí)用新型原理的較佳實(shí)施例，并不因此而限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。

見圖2至圖4所示：本實(shí)用新型的一種真空低溫泵中的組合冷板包括冷板的頂板1和陣列板2，陣列板2的中心成型有貫穿的槽孔21，槽孔21相對側(cè)邊的陣列板2上成有縱向的固定板22；陣列板2插套在‘匚’字形的冷板支架3上，陣列板2的固定板22的靠在冷板支架3的兩側(cè)板上，陣列板2的固定板22和冷板支架3的側(cè)板插接有兩組相對的‘匚’字形的彎管4，彎管4的中部橫管壓靠在固定板22上；兩組彎管4上相對的一端分別螺接在連接管5的兩端，連接管5固定有與連接管5相連同的進(jìn)液管6，進(jìn)液管6的上端穿過冷板支架3的上板和冷板的頂板1螺接有螺母7，頂板1通過螺母7固定在冷板支架3上。

連接管5上成型有貫穿連接管5外壁的螺紋孔，所述的進(jìn)液管6上成型有外螺紋，所述的連接管5螺接在進(jìn)液管6上，進(jìn)液管6成型有沉孔與連接管5相連通。

連接管5兩端的管內(nèi)壁上成型有螺旋方向相反的螺紋，彎管4的兩端成型有外螺紋，相對的彎管4的外螺紋為螺旋方向相反的螺紋。

陣列板2的固定板22上成型有通孔23，彎管4兩側(cè)的豎管穿插在固定板22的通孔23內(nèi)。

本實(shí)用新型的工作原理如下:裝配時(shí)，彎管4穿插在陣列板2和冷板支架3上，兩彎管4上螺紋接有連接管5，通過連接管5旋轉(zhuǎn)能夠減小相對的兩彎管4之間的距離，從而能夠?qū)㈥嚵邪?穩(wěn)固的固定在冷板支架3上，使其不容易脫落，利用進(jìn)液管6連通彎管4，再將進(jìn)液管6連接壓縮機(jī)，從而能使低溫的冷卻氣體進(jìn)過陣列組合的冷板上，增加冷板冷卻降溫的速度，從而提高了冷凝空氣的速度。