[實用新型]一種稀有氣體干燥回收系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320646537.6 | 申請日： | 2013-10-18 |
| 公開（公告）號： | CN203556265U | 公開（公告）日： | 2014-04-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李大明;張志全 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安聯(lián)合超濾凈化設(shè)備有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/26 | 分類號： | B01D53/26;B01D53/02 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 710075 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 稀有氣體 干燥 回收 系統(tǒng) | ||
1.一種稀有氣體干燥回收系統(tǒng)，其特征在于：包括冷卻器（4）、分離器（5）、吸附式干燥器（8），
所述冷卻器（4）的進氣口與氣源連接，所述冷卻器（4）的出氣口與分離器（5）的進氣口連接，所述分離器（5）的出氣口與吸附式干燥器（8）的進氣口連接，
所述吸附式干燥器（8）包括至少兩個吸附罐，當其中一個進行吸附時，另一個進行再生；吸附式干燥器（8）的再生氣出口與氣源連接，吸附式干燥器的純化氣出口與用氣設(shè)備（11）的進氣口連接，用氣設(shè)備（11）的氣體出口與氣源連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的稀有氣體干燥回收系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)還包括除油過濾器（7），所述分離器（5）通過除油過濾器（7）與吸附式干燥器（8）連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的稀有氣體干燥回收系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)還包括前置過濾器（6），所述分離器（5）通過前置過濾器（6）與除油過濾器（7）連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的稀有氣體干燥回收系統(tǒng)，其特征在于：所述系統(tǒng)還包括增壓機（3）和緩沖儲氣罐（10），氣源通過增壓機（3）與冷卻器（4）連接，吸附式干燥器（8）通過緩沖儲氣罐（10）與用氣設(shè)備（11）連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的稀有氣體干燥回收系統(tǒng)，其特征在于：還包括粉塵過濾器（9），所述粉塵過濾器（9）通過吸附式干燥器（8）與用氣設(shè)備（11）連接。
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