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[實用新型]可實現離軸反射鏡離軸量精確測量的系統有效

專利信息
申請號: 201320643073.3 申請日: 2013-10-17
公開(公告)號: CN203605906U 公開(公告)日: 2014-05-21
發明(設計)人: 張學敏;段戰軍;閆肅;魏儒義;段嘉友;李華;張志軍 申請(專利權)人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
主分類號: G01B11/00 分類號: G01B11/00;G01B11/02
代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 代理人: 姚敏杰
地址: 710119 陜西省西*** 國省代碼: 陜西;61
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 實現 反射 鏡離軸量 精確 測量 系統
【權利要求書】:

1.一種可實現離軸反射鏡離軸量精確測量的系統,其特征在于:所述系統包括成像測量裝置、立式轉臺、連接板、二維平移臺以及光柵尺;所述二維平移臺通過連接板設置在立式轉臺上并隨立式轉臺繞立式轉臺的旋轉軸進行旋轉;待測離軸反射鏡設置在二維平移臺上并在二維平移臺上進行二維運動;所述光柵尺的一端固定在連接板上,另一端止靠在平移臺上;所述成像測量裝置的光軸與立式轉臺的轉軸是重合的。?

2.根據權利要求1所述的可實現離軸反射鏡離軸量精確測量的系統,其特征在于:所述成像測量裝置包括十字分劃板目標、CCD、附加鏡以及相對于十字分劃板的位置可進行調整的自準直光管;所述十字分劃板目標、自準直光管以及附加鏡依次設置在同一光軸上;所述自準直光管與CCD電性相連。?

3.根據權利要求2所述的可實現離軸反射鏡離軸量精確測量的系統,其特征在于:所述成像測量裝置還包括直線運動導軌,所述自準直光管置于直線運動導軌上并沿導軌進行直線移動。?

4.根據權利要求2或3所述的可實現離軸反射鏡離軸量精確測量的系統,其特征在于:所述附加鏡是具有會聚功能的透鏡或透鏡組。?

5.根據權利要求2或3所述的可實現離軸反射鏡離軸量精確測量的系統,其特征在于:所述二維平移臺的精度不低于0.005mm;所述光柵尺的精度不低于0.01mm;所述自準直光管的自準精度不低于0.5”。?

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