[實用新型]研磨拋光頭支撐裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320636756.6
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN203600043U
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐丹;方建東;楊寧;孫曉曉
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫元明機械設(shè)備技術(shù)有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/04
• 代理公司: 無錫市大為專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32104
• 代理人: 殷紅梅

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種研磨拋光頭支撐裝置，尤其是一種用于晶體研磨拋光的拋光頭的支撐裝置。

背景技術(shù)

現(xiàn)今光電、半導(dǎo)體、模具等產(chǎn)業(yè)，對于其使用零件（如銑、削加工后的工件）的表面精度要求均日益提高，因此，于工件表面進行研磨拋光的精密微細加工已成為目前發(fā)展的主流加工技術(shù)。

研磨拋光的目的是為了去除切片在加工工序中因切割產(chǎn)生的微缺陷和表面損傷層，獲得表面平坦化、表面粗糙度極低的光亮“鏡面”。在研磨拋光過程中，晶片被一個可活動的研磨拋光頭壓在研磨拋光盤上，晶片和研磨拋光盤同時轉(zhuǎn)動，在這個過程中晶片表面的材料和不規(guī)則結(jié)構(gòu)都被機械作用或者化學作用或著兩者的組合作用除去，從而達到晶片平坦化的目的。為確保晶片的研磨拋光質(zhì)量，必須保證研磨拋光頭施加給晶片的壓力是均勻作用于晶片的，同時還必須保證研磨拋光頭在整個加工過程中運行穩(wěn)定。

傳統(tǒng)的研磨拋光機很難保證研磨拋光頭垂直安裝于研磨拋光盤上側(cè)，晶片由于受力不均，在加工過程中通常會產(chǎn)生晶片的邊緣與晶片的中間位置去除率不一致的邊緣效應(yīng)，造成晶片平面度不高。同時由于與研磨拋光頭連接的機頂與立柱的連接采用的是簡單的螺紋連接，經(jīng)常會出現(xiàn)機頂與立柱接合不充分的現(xiàn)象，導(dǎo)致研磨拋光頭在加工過程中由于機頂承重不均容易發(fā)生振動，造成晶片加工出現(xiàn)異常，如果長時間工作，則會導(dǎo)致晶片的破裂，即使采用國外進口的精加工件進行機架與立柱的安裝，也無法完全避免研磨拋光頭在加工過程中不出現(xiàn)微量的振動。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種研磨拋光頭支撐裝置，使研磨拋光頭在加工過程中均勻施力，且不會產(chǎn)生振動。

按照本實用新型提供的技術(shù)方案，一種研磨拋光頭支撐裝置，包括拋光機機架，拋光機機架上安裝立柱，立柱的上部安裝機頂；特征是：在所述機頂?shù)牡酌嫔显O(shè)置凸臺，凸臺中間設(shè)置通孔，凸臺與連接板螺接，連接板與設(shè)置在凸臺中間通孔的導(dǎo)套螺接，導(dǎo)套與研磨拋光頭套接。

在所述立柱與機頂?shù)酌孢B接處的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)置上鎖緊螺母和下鎖緊螺母。

在所述上鎖緊螺母上沿圓周方向均勻分布三個或三個以上螺紋孔，在螺紋孔中設(shè)置螺釘。

本實用新型通過導(dǎo)套與連接板、連接板與機頂?shù)牡酌嫱古_的緊密配合，可保證連接于導(dǎo)套下側(cè)的研磨拋光頭上下移動的豎直精度，達到研磨拋光頭對晶片均勻施力的目的；同時，在機頂與立柱螺接的過程中，通過旋緊上鎖緊螺母的螺紋孔中的螺釘，可使下鎖緊螺母與機頂?shù)酌嫱古_充分接合，提高了機頂與立柱的接合剛度和接合穩(wěn)定性，從而可保證研磨拋光頭在加工過程中運行穩(wěn)定，不會產(chǎn)生振動。

附圖說明

????圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示：所述研磨拋光頭支撐裝置包括拋光機機架1、立柱2、機頂3、上鎖緊螺母4、下鎖緊螺母5、凸臺6、連接板7、導(dǎo)套8、研磨拋光頭9等。

如圖1所示，本實用新型包括拋光機機架1，拋光機機架1上安裝立柱2，立柱2的上部安裝機頂3，在立柱2與機頂3底面連接處的內(nèi)外側(cè)分別設(shè)置上鎖緊螺母4和下鎖緊螺母5；在所述機頂3的底面上設(shè)置凸臺6，凸臺6中間設(shè)置通孔，凸臺6與連接板7螺接，連接板7與設(shè)置在凸臺6中間通孔的導(dǎo)套8螺接，導(dǎo)套8與研磨拋光頭9套接，從而保證連接于導(dǎo)套8上的研磨拋光頭9上下移動的豎直精度，達到研磨拋光頭9對晶片均勻施力的目的；

在所述上鎖緊螺母4上沿圓周方向均勻分布三個或三個以上螺紋孔，在螺紋孔中設(shè)置螺釘；在機頂3與立柱2連接的過程中，通過旋轉(zhuǎn)上鎖緊螺母4的螺紋孔中的螺釘，可使下鎖緊螺母5與機頂3底面充分接合，提高了機頂3與立柱2的接合剛度和接合穩(wěn)定性，從而保證研磨拋光頭9在加工過程中運行穩(wěn)定，不會產(chǎn)生振動。