[實(shí)用新型]一種利于微型化的石英諧振元件

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320635044.2
• 申請(qǐng)日: 2013-10-15
• 公開（公告）號(hào): CN203466786U
• 公開（公告）日: 2014-03-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林丙濤;林日樂;班亞娟;趙建華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第二十六研究所
• 主分類號(hào): H03H9/02
• 分類號(hào): H03H9/02;H03H9/19
• 代理公司: 重慶博凱知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 50212
• 代理人: 李海華

1.一種利于微型化的石英諧振元件，包括基部（2）和具有相同結(jié)構(gòu)且工作于寬度彎曲諧振模態(tài)的兩平行的諧振梁（3），兩諧振梁（3）的一端與基部連接，其特征在于：所述諧振梁（3）的正面和背面中至少有一個(gè)面上設(shè)有沿長(zhǎng)度方向的凹槽，該凹槽的開口方向與諧振梁（3）的振動(dòng)方向垂直；所述凹槽由兩側(cè)平行的深凹槽（4a）和位于兩個(gè)深凹槽（4a）之間且與兩個(gè)深凹槽連為一體的淺凹槽（4b）構(gòu)成；在凹槽的內(nèi)壁以及諧振梁（3）的兩側(cè)壁分別覆蓋有用于連接激勵(lì)電源的電極，兩根諧振梁（3）通過與激勵(lì)電源不同極性的連接使之振動(dòng)方向相反，其中深凹槽底面及兩側(cè)壁覆蓋電極，淺凹槽只在底面左右兩端覆蓋彼此斷開的電極，深凹槽上的電極與淺凹槽底面對(duì)應(yīng)端上的電極連為一體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英諧振元件，其特征在于：所述諧振梁（3）另一端在正面或背面某一面設(shè)置有用于頻率調(diào)節(jié)的金屬質(zhì)量塊（7），金屬質(zhì)量塊所在的諧振梁該面設(shè)置有所述凹槽。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英諧振元件，其特征在于：所述諧振梁（3）與基部（2）連接的左右兩側(cè)根部設(shè)置有倒角（6）以與基部平滑連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英諧振元件，其特征在于：所述諧振梁（3）正面和背面均設(shè)置有所述凹槽且正面和背面對(duì)稱設(shè)置。