[實用新型]一種多晶硅流化床反應器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320634205.6
• 申請日: 2013-10-15
• 公開（公告）號: CN203484138U
• 公開（公告）日: 2014-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭宏新;劉世平;劉豐;高輝;李奇;練綿炎
• 申請（專利權(quán)）人: 江蘇中圣高科技產(chǎn)業(yè)有限公司
• 主分類號: B01J8/24
• 分類號: B01J8/24;C01B33/03
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 夏平;瞿網(wǎng)蘭

1.一種多晶硅流化床反應器，其特征是它由氣體排出區(qū)（1-2）、反應區(qū)（1-1）和氣體緩沖區(qū)（1-3）組成，氣體排出區(qū)（1-2）位于反應區(qū)（1-1）的上部并直接連通，氣體緩沖區(qū)（1-3）位于反應區(qū)（1-1）的下部，兩者之間通過氣體分布器（9）分割，氣體分布器（9）的中心設(shè)有產(chǎn)品顆粒排出反應器外的出料口（9-3），出料口（9-3）與伸出反應器外的出口管（7）相連通，在氣體分布器（9）的外圈設(shè)有供氫氣覆蓋氣體進入反應區(qū)內(nèi)壁并降低內(nèi)壁硅顆粒沉積的氫覆蓋氣進口（9-1），氫覆蓋氣進口（9-1）與伸出反應器外的氫氣進氣管（6）相連通，在出料口（9-3）與氫覆蓋氣進口（9-1）之間的氣體分布器（9）上設(shè)有與氣體緩沖區(qū)相連通的反應氣進口（9-2）；在氣體緩沖區(qū)（1-3）上設(shè)有原料氣進口（8）和流化氣體進口（10），低于反應溫度的原料氣從原料進氣口（8）進入緩沖區(qū)后在氣體分布器（9）的控制下按設(shè)定的速度和比例進入反應區(qū)（1-1），反應區(qū)（1-1）的筒壁上設(shè)有微波加熱器（2-4），氣體排出區(qū)（1-2）設(shè)有晶種入口（3）和尾氣排出口（4），尾氣排出口（4）上安裝有旋風分離器，用于分離尾氣和未反應的硅粉塵。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應器，其特征是所述的氣體分布器（9）呈博士錐帽型結(jié)構(gòu)，設(shè)有氫覆蓋氣進口（9-1）、反應氣進口（9-2）和出料口（9-3）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應器，其特征是所述的氣體分布器（9）的反應氣進口（9-2）結(jié)構(gòu)為直通管道形狀或喇叭口形狀或縮放狀；在氣進口（9-2）三種形狀的出口段開有直槽道或鋸齒槽道。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的反應器，其特征是所述的反應器壁（2）設(shè)在與反應區(qū)（1-1）相對應的器壁中，反應區(qū)的內(nèi)壁上設(shè)有碳化硅涂層（2-5）和微波加熱器（2-4），在反應區(qū)的外壁（2-1）與微波加熱器（2-4）之間設(shè)有隔熱層（2-2）和微波反射層（2-3），其中微波反射層（2-3）與微波加熱器（2-4）緊鄰。