[實用新型]氣壓閥件結構及應用其的充氣座以及充氣柜

有效

• 申請號: 201320631890.7
• 申請日: 2013-10-14
• 公開（公告）號: CN203585473U
• 公開（公告）日: 2014-05-07
• 發明（設計）人: 陳明生;劉宏偉;鄭友玄
• 申請（專利權）人: 陳明生;劉宏偉;鄭友玄
• 主分類號: F16K17/20
• 分類號: F16K17/20;F16K24/06;F16K31/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 朱振德

技術領域

本實用新型有關于一種閥件的技術領域，具體而言是一種不致產生作用疲乏的氣壓閥件結構，以能減少閥件損壞的機率，有效延長閥件的使用壽命。

背景技術

按，閥件是一種可選擇性開關及調整氣體回路的零件，例如進氣閥、排氣閥、換向閥、單向閥、流量控制閥等等，這些氣壓零件關系到整個氣體回路的順暢、穩定、使用壽命及氣壓動作優劣，而前述氣壓閥件的開關及調整動作主要來自如彈簧之類的彈性件，使其在動作后產生回復預力，但這類彈性件在使用一段時間會因應力而逐漸疲乏，造成其動作不順暢或不穩定的現象，例如無法完全關閉氣體回路、又或無法有效復位，進而縮短其使用壽命。

另，在氣壓回路中，并會利用電磁閥來進行關閉的動作，然電磁閥與前述閥件彈性件一樣，除了有彈性疲乏而損壞的問題外，各該電磁閥也易因磨擦而產生微粒及因電磁作用而發熱，造成污染物的產生與吸附，從而破壞氣壓回路中的潔凈度，甚至進一步損壞到氣壓回路中的零件。

目前，晶圓或光罩于制作、清洗、操作與儲存、運輸的過程中，不論置于容置晶圓、光罩的載具或無塵室的環境中，均存在有不少的微粒、水氣、氣體、化學溶劑分子等有害物質，這些有害物質會附著于晶圓或光罩表面，且在儲存過程中或曝光制程加熱后，這些有害物質會在光罩表面產生微粒附著、結晶、又或霧化等現象，以黃光微影制程為例，其會直接影響到光罩的透光率，進而使光罩上的圖形失真，其會造成晶圓良率降低的現象，且增加了清理與改善的時間，造成生產量降低，相對上也會提高營運的成本。

為了解決這個問題，而在半導體制程中，通常運用自動化物料搬運系統(Automated?Material?Handling?System，AMHS)、與隔離進出料標準機械接口(Standard?Mechanical?Interface，SMIF)等設備，來進行光罩于不使用期間的儲存與運送，以取代傳統人工搬運、降低無塵室設備的建置與維護成本，同時能提升光罩的潔凈度，達到超高的生產良率。

而根據半導體廠中AMHS與SMI的技術概念，除了在制程使用時，晶圓或光罩在運送過程或保存期間，都必須放置在一個高潔凈度、氣密性佳與低氣體逸出(Outgassing)的載具內，如晶圓傳送盒(FOUP)、晶圓運輸盒(FOSB)、光罩傳送盒(Reticle?SMIF?Pod，RSP)等等。而為了提高前述載具的潔凈度，通常會在前述密封式載具內充填干凈的惰性氣體如氮氣(N2)，以減少有害氣體的為害，然受限于載具氣密性不足的問題，通常在一段時間后，即會因漏氣而失去效果，故近年來業界進一步開發有注入循環潔凈氣體的充氣座，該充氣座并可被設計應用于各種設備上，如制程設備旁的進出料工作站、儲存用的收納柜、充氣柜或運輸設備等，供對每一個載具進行獨立的循環充氣。

而現有習知的充氣座主要由一板體所構成，板體上分設有對應載具充、排氣的充、排氣閥件，以提供載具潔凈氣體。習知載具在充氣及儲存時，長時間壓掣在充、排氣閥件上，如此容易造成充氣座上的充、排氣閥件因疲乏而損壞，甚至因摩擦而造成微粒掉落或因生熱而吸附污染物，影響到載具內部的潔凈度。

由此可見，在半導體制程中或高潔凈的作業環境中，如所使用的氣壓閥件使用彈性件來進行本身的開關動作，則容易造成污染物的生產與吸附，且長時間使用也會有疲乏損壞的問題，影響到各該氣壓閥件的有效性及使用壽命，因此如何解決這些問題，是相當重要的課題。

實用新型內容

因此，本實用新型的主要目的在提供一種具磁性相斥作用的氣壓閥件結構，以能利用常態相斥作用來提供閉合預力，而能避免習式因彈性疲乏而失效或損壞的問題，可有效延長氣壓閥件的使用壽命。

又，本實用新型的另一主要目的在提供一種可確保氣體潔凈度的氣壓閥件結構，其能避免因磨擦產生污染物，也不致因電磁動作而發熱吸附污染物，其能有效維持流經氣體的潔凈度。

為了達到上述目的，本實用新型提供了一種氣壓閥件結構，其包含：

一閥體組件，連通于一供氣回路，該閥體組件具有相對鎖合的一基體及一帽蓋，帽蓋形成有一連通供氣回路的貫孔，且帽蓋內底部具有一與貫孔連通的容槽；

一浮動件，滑設于該帽蓋的貫孔中，且浮動件頂端穿出帽蓋形成一掣動段，又浮動件內形成有一開口向外的氣孔，且浮動件中段周緣形成有至少一連通氣孔的導孔，供由外部通過作動該浮動件相對帽蓋的容槽選擇性閉合；

一磁性組件，具有一第一磁性件及與該第一磁性件相斥的一第二磁性件，該第一磁性件設于該基體中，該第二磁性件設于該浮動件的一相對底面。