[實(shí)用新型]一種原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320631538.3
• 申請(qǐng)日: 2013-10-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203644726U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳幸;孫立濤;余開(kāi)浩;吳旻駿;潘弘揚(yáng);邢雪;馬子哲
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號(hào): H01J37/20
• 分類號(hào): H01J37/20;G01N23/00
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 王華

1.一種原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：包括金屬納米探針、絕緣堵片和樣品支撐臺(tái)，所述絕緣堵片的正反表面分別設(shè)有多個(gè)金屬電極，且對(duì)應(yīng)的金屬電極之間通過(guò)金屬化通孔實(shí)現(xiàn)導(dǎo)電連接；所述樣品支撐臺(tái)一端與絕緣堵片連接，另一端設(shè)有取樣區(qū)和測(cè)試區(qū)，所述測(cè)試區(qū)為設(shè)在樣品支撐臺(tái)表面并懸空的金屬電極，樣品支撐臺(tái)的金屬電極與絕緣堵片的金屬電極為導(dǎo)電連接；所述金屬納米探針、測(cè)試區(qū)金屬電極和被測(cè)樣品構(gòu)成三端場(chǎng)效應(yīng)晶體管。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品支撐臺(tái)測(cè)試區(qū)的金屬電極為4個(gè)，對(duì)應(yīng)的絕緣堵片正反面也分別設(shè)有4個(gè)金屬電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品支撐臺(tái)表面設(shè)有4個(gè)電極引腳并分別與測(cè)試區(qū)金屬電極連接；同時(shí)所述絕緣堵片設(shè)有插槽，樣品支撐臺(tái)一端設(shè)在該插槽內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品支撐臺(tái)材質(zhì)選用硅或氮化硅。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述絕緣堵片的材質(zhì)采用藍(lán)寶石或氮化鋁。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述樣品支撐臺(tái)上的金屬電極為通過(guò)磁控濺射方法沉積得到的金、鎳、鉑金屬薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述金屬電極的材質(zhì)采用鈦金合金。

8.根據(jù)權(quán)利要求3所述原位測(cè)量納米器件的透射電鏡樣品臺(tái)，其特征在于：所述取樣區(qū)為柵格狀。