[實用新型]以四氟化硅和氮氣生產(chǎn)氮化硅和三氟化氮的設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201320626805.8
• 申請日: 2013-10-11
• 公開（公告）號: CN203529936U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 應(yīng)盛榮;姜戰(zhàn);應(yīng)悅
• 申請（專利權(quán)）人: 應(yīng)悅
• 主分類號: C01B21/068
• 分類號: C01B21/068;C01B21/083
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 耿映曦

1.以四氟化硅和氮氣生產(chǎn)氮化硅和三氟化氮的設(shè)備，其特征在于，包括等離子體發(fā)生器、等離子體反應(yīng)器、冷卻室、氣固分離室、三氟化氮精制裝置；所述等離子體發(fā)生器與等離子體反應(yīng)器相連通，所述等離子體反應(yīng)器的出料口與冷卻室的進料口相連通，所述冷卻室還設(shè)有低溫氮氣輸入口，所述冷卻室的出料口與氣固分離室的進料口相連通，所述氣固分離室的氣相出料口與三氟化氮精制裝置的進料口相連通，所述氣固分離室的固相出料口為氮化硅排出口，所述三氟化氮精制裝置設(shè)有三氟化氮排出口和廢氣排出口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的以四氟化硅和氮氣生產(chǎn)氮化硅和三氟化氮的設(shè)備，其特征在于，還包括氮氣凈化回收裝置，所述氮氣凈化回收裝置的進料口與三氟化氮精制裝置的廢氣排出口相連通，所述氮氣凈化回收裝置的出料口與等離子體反應(yīng)器的進料口相連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的以四氟化硅和氮氣生產(chǎn)氮化硅和三氟化氮的設(shè)備，其特征在于，還包括氣封出料螺旋和高溫結(jié)晶爐，所述氣封出料螺旋的進料口與氣固分離室的固相出料口相連接，所述氣封出料螺旋的出料口與高溫結(jié)晶爐的進料口相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一所述的以四氟化硅和氮氣生產(chǎn)氮化硅和三氟化氮的設(shè)備，其特征在于，所述等離子體反應(yīng)器外設(shè)有反應(yīng)熱冷卻器。