[實(shí)用新型]具有預(yù)退火功能的勻膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201320623449.4
• 申請(qǐng)日: 2013-10-10
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203525984U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃志明;歐陽(yáng)程;周煒;吳敬;高艷卿;龍芳;褚君浩
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類(lèi)號(hào): B05C9/14
• 分類(lèi)號(hào): B05C9/14;B05C5/02;B05C11/00;B05C11/08;B05C11/10
• 代理公司: 上海新天專(zhuān)利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種具有預(yù)退火功能的勻膠機(jī)，包括注膠裝置，加熱裝置，散熱裝置和勻膠機(jī)四部分，其特征在于：

所述的勻膠機(jī)（1）用于固定襯底片并旋涂溶膠；勻膠機(jī)（1）左側(cè)為注膠裝置，活塞塑料注射器（11）和磨砂質(zhì)玻璃注射器（10）分別用來(lái)汲取和寄存溶膠，Y型三通（6）連接第一單向止水閥（4）、常閉式水閥（5）、儲(chǔ)液瓶（8）、磨砂質(zhì)玻璃注射器（10）、活塞塑料注射器（11）和第二單向止水閥（12），利用兩個(gè)單向止水閥（4,12）來(lái)控制液體流動(dòng)方向；滴管（3）固定在二維平移臺(tái)上，利用升降臺(tái)和二維平移臺(tái)（7）控制滴膠口的方位；在磨砂質(zhì)玻璃注射器（10）的推桿上添加合適重量的砝碼（9），依靠砝碼（9）的重力將推桿下壓，從而將溶膠從滴管中逐滴擠出到襯底片上；利用乳膠管連接Y型三通（6）和第一單向止水閥（4）兩部分，并在中間設(shè)計(jì)常閉式水閥（5），通過(guò)手動(dòng)調(diào)節(jié)常閉式水閥（5）的開(kāi)關(guān)狀態(tài)可控制滴管的滴膠過(guò)程；

勻膠機(jī)（1）上方為加熱裝置，用220V交流電（22）為275W紅外燈（14）提供電壓，通過(guò)觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)（15）、繼電器（16）和限流電阻（17）控制紅外燈的實(shí)際功率，進(jìn)而控制樣品的預(yù)退火溫度，實(shí)現(xiàn)薄膜的預(yù)退火功能；紅外燈（22）靠近時(shí)，觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)（15）閉合，限流電阻（17）被短路，紅外燈（22）功率達(dá)到最大，襯底表面溫度可達(dá)到230-250℃，所涂覆薄膜中的有機(jī)物質(zhì)將在數(shù)十秒內(nèi)全部逸出或燒盡；紅外燈（22）遠(yuǎn)離時(shí)，觸點(diǎn)開(kāi)關(guān)（15）斷開(kāi)，限流電阻（17）接入，紅外燈（22）功率減小變暗，可進(jìn)行涂膜操作；

注膠裝置右側(cè)為散熱裝置，儲(chǔ)水盒（20）用于存儲(chǔ)散熱用水，潛水泵（21）使水在銅管中循環(huán)；冷卻水通過(guò)潛水泵（21）流經(jīng)環(huán)繞于內(nèi)膽的散熱銅管（13）為勻膠機(jī)內(nèi)膽降溫，經(jīng)散熱水排（19）將內(nèi)膽的熱量散開(kāi)，從而對(duì)水進(jìn)行降溫，并促進(jìn)加熱裝置內(nèi)外的熱量和氣體交換，排出經(jīng)加熱后逸出的有機(jī)物質(zhì)。