[實用新型]一種制造超長厚壁石英管的裝置

有效

• 申請號: 201320622304.2
• 申請日: 2013-10-10
• 公開（公告）號: CN203530127U
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 楊曉彬
• 申請（專利權）人: 上海宗和材料科技有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 上海欣創專利商標事務所 31217
• 代理人: 顧大平

技術領域

本實用新型涉及一種制造厚壁石英管的裝置，具體涉及一種制造超長厚壁石英管的裝置。

背景技術

厚壁石英管被廣泛應用于半導體和光纖等制造領域。目前，在制造這種厚壁石英管的過程中，通常采用的方法是：先將石英砂加入到石墨坩堝中，然后在真空，或是氦或氫等惰性氣體，或是還原性氣體中對石墨坩堝進行加熱，使石英砂熔化，并將熔化后的石英冷卻，最后得到管狀的石英玻璃。

現有技術中，制造厚壁石英管的裝置，包括石墨坩堝、芯桿、加熱器、絕熱組件和熔爐。石墨坩堝設于熔爐內部，芯桿設于石墨坩堝中間，加熱器設于石墨坩堝外圍，以對石墨坩堝進行加熱，絕熱組件設在石墨坩堝、芯桿和加熱器的外圍，起保溫作用，熔爐設有進氣口和真空抽氣口，通過進氣口可以向熔爐內注入惰性氣體或還原性氣體，通過真空抽氣口可以將熔爐內部氣體抽出，從而使其處于真空狀態。其優點是：此裝置實現上述石英管的制造方法。其缺點是：此裝置的石墨坩堝不能相對于加熱器上下移動，使得石墨坩堝受加熱的長度取決于加熱器的長度，同時，石墨坩堝受加熱的長度又決定著所制造出厚壁石英管的最大長度，這樣，此裝置所制造出的厚壁石英管的最大長度就取決于加熱器的長度。而現在的加熱器主要由石墨制成，因受加熱器的制造設備和原材料長度所限，加熱器長度無法做的很長，從而就導致此種裝置無法制造出長度較長的厚壁石英管。

發明內容

本實用新型的目的是要解決現有技術中無法制造出長度較長的厚壁石英管的缺陷，提供一種制造超長厚壁石英管的裝置。

為實現上述目的，本實用新型所采用的技術方案如下：?

一種制造超長厚壁石英管的裝置，包括熔爐、石墨坩堝、芯桿、加熱器和絕熱組件，所述石墨坩堝設于熔爐內部，所述芯桿設于石墨坩堝中間，所述加熱器設于石墨坩堝的外圍，所述絕熱組件設于熔爐和加熱器之間，其特征在于：該裝置還包括升降機構，所述升降機構設于石墨坩堝的底部，該升降機構支撐著石墨坩堝，并使石墨坩堝相對于加熱器上下移動。

所述升降機構包括升降平臺、移動桿、支架、導軌滑塊、導軌、絲杠、絲杠螺母和電機，所述升降平臺與所述移動桿的頂端固定連接，所述支架與移動桿的底端固定連接，所述導軌滑塊固定在支架上，該導軌滑塊套設于導軌，所述絲杠螺母固定于支架的端部，該絲杠螺母套設于絲杠，所述絲杠與電機通過聯軸器固定連接。

所述升降平臺頂部設有絕熱層，該絕熱層與石墨坩堝接觸配合。

所述石墨坩堝的長度大于所述加熱器的長度。

所述絕熱組件的底部在與石墨坩堝對應處設有缺口。

所述熔爐的底部在與移動桿配合處設有密封裝置。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：升降機構支撐著石墨坩堝，并使石墨坩堝相對于加熱器上下移動，這樣在加熱器長度一定的情況下，使石墨坩堝受熱長度增加，從而就能制造出長度更長的石英管。

附圖說明

圖1為現有技術中的制造厚壁石英管的裝置的縱向剖視圖；

圖2為本實用新型實施例的整體結構示意圖。

具體實施方式

為了更好地理解本實用新型相對于現有技術所作出的改進，在對本實用新型的具體實施方式詳細說明之前，先對背景技術部分所提到的現有技術結合附圖加以說明。

如圖1所示，現有技術中的制造厚壁石英管的裝置，包括熔爐1、石墨坩堝2、芯桿3、加熱器4和絕熱組件5，石墨坩堝2設于熔爐1內部，芯桿3設于石墨坩堝2中間，加熱器4設于石墨坩堝2的外圍，絕熱組件5設于熔爐1和加熱器4之間。熔爐1的頂部設有進氣口12，熔爐1的側壁設有真空抽氣口13，熔爐1的側壁在與加熱器的電極配合處設有密封絕緣裝置14。

對于此種制造厚壁石英管的裝置，石墨坩堝2不能相對于加熱器4上下移動，使得石墨坩堝2受加熱的長度取決于加熱器4的長度，同時，石墨坩堝2受加熱的長度又決定著所制造出厚壁石英管的最大長度，這樣，此裝置所制造出的厚壁石英管的最大長度就取決于加熱器4的長度。

本實用新型的一種實施方式，就是針對現有技術中的石墨坩堝2不能相對于加熱器4上下移動作出的改進。下面結合附圖對本實用新型的一種實施方式作出詳細說明。