[實用新型]一種光刻膠離心涂布機用卡盤

有效

• 申請號: 201320620146.7
• 申請日: 2013-10-09
• 公開（公告）號: CN203520010U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 胡泰祥
• 申請（專利權）人: 元茂光電科技（武漢）有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201
• 代理人: 張大威

技術領域

本實用新型涉及LED制造技術領域，特別涉及一種光刻膠離心涂布機用卡盤。

背景技術

光刻技術作為微細加工的關鍵技術已廣泛應用于LED行業。在光刻技術中涂布光刻膠是一道關鍵工序，光刻膠涂布的均勻性嚴重影響著光刻圖形的精確性。目前LED制造領域使用的光刻膠涂布方式有噴霧法、流動法、離心法、滾動法，其中離心法操作簡便，易于控制，污染小，光刻膠利用率高，因此，離心法在LED制造行業應用最為廣泛。

離心法光刻膠涂布機原理為：光刻膠涂布機利用高轉速的無刷電機帶動真空卡盤旋轉，在卡盤上載有晶片。光刻膠或玻璃涂布液等液體被以一定量滴到晶片中央，馬達加速迅速上升至預設速度。在馬達加速期間，光刻膠液因離心作用被迅速甩向晶片邊緣；繼續旋轉，讓剛剛涂布的光刻膠均勻布置在晶片上并干燥，之后停止卡盤，涂布工作完成。

現有卡盤如圖1、圖2所示，在涂布光刻膠時，外延片被卡盤真空通道2、徑向真空槽21、圓周真空槽22吸附在卡盤上，由于外延片AlGaAs發光二極管外延片因摻雜層和襯底層材質的膨脹系數不同，故AlGaAs外延片表面呈弧形狀，導致AlGaAs外延片在涂布光刻膠時，外延片和卡盤之間有間隙，導致卡盤的真空度不夠，卡盤在旋轉時AlGaAs外延片因真空度不足而被甩出，導致外延片破損，造成產品良率損失。

發明內容

本實用新型旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本實用新型提出一種光刻膠離心涂布機用卡盤，包括卡盤本體1、吸嘴3，所述卡盤本體具有卡盤真空通道2，所述吸嘴具有吸嘴真空通道32；所述吸嘴設置在所述卡盤本體上，所述吸嘴真空通道與所述卡盤真空通道相通；所述吸嘴還設置有吸盤31，所述吸盤具有凹面，所述凹面與所述吸嘴真空通道相通。由于設置了凹面吸嘴，與AlGaAs外延片的弧形可以緊密地配合，從而保證了卡盤內的真空度，確保卡盤本體旋轉時AlGaAs外延片不會被甩出去造成產品損失。

所述吸嘴為硅膠制成的吸嘴，進一步地利用硅膠柔軟可變形的特性，在吸真空時AlGaAs外延片能和硅膠吸嘴緊密密合，使得光刻膠涂布機卡盤真空度達到要求，旋轉時AlGaAs外延片不會被甩出去造成產品損失。

進一步地，所述吸嘴還設置有第一頸部33。

進一步地，所述吸嘴還設置有第二頸部34。

進一步地，所述吸嘴插入所述卡盤本體。

進一步地，所述卡盤本體為聚醚醚酮樹脂制成的卡盤。

附圖說明

圖1是現有離心法光刻膠涂布機卡盤主視圖的示意圖；

圖2是現有離心法光刻膠涂布機卡盤俯視圖的示意圖；

圖3是本實用新型主視圖的示意圖；

圖4是本實用新型剖視圖的示意圖；

圖5是本實用新型俯視圖的示意圖；

其中，1、卡盤本體；2、卡盤真空通道；21、徑向真空槽；22、圓周真空槽；3、吸嘴；31、吸盤；32、吸嘴真空通道；33、第一頸部；34、第二頸部。

具體實施方式

下面詳細描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。

在本實用新型的描述中，需要理解的是，術語“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。

在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規定和限定，術語“安裝”、“相連”、“連接”應做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通。對于本領域的普通技術人員而言，可以具體情況理解上述術語在本實用新型中的具體含義。

下面參考圖1描述本實用新型的實施例。

如圖1的一種光刻膠離心涂布機用卡盤，包括卡盤本體1、吸嘴3，所述卡盤本體具有卡盤真空通道2，所述吸嘴具有吸嘴真空通道32；所述吸嘴設置在所述卡盤本體上，所述吸嘴真空通道與所述卡盤真空通道相通；所述吸嘴還設置有吸盤31，所述吸盤具有凹面，所述凹面與所述吸嘴真空通道相通。所述吸嘴為硅膠制成的吸嘴，所述卡盤本體為聚醚醚酮樹脂制成的卡盤。