[實用新型]真空鍍膜機減壓裝置

有效

• 申請號: 201320618117.7
• 申請日: 2013-10-08
• 公開（公告）號: CN203546140U
• 公開（公告）日: 2014-04-16
• 發明（設計）人: 陳顯東
• 申請（專利權）人: 上海宏昊企業發展有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

技術領域

本實用新型涉及機械技術領域，具體涉及一種減壓裝置。

背景技術

真空鍍膜是指在真空條件下采用加熱或其他方式，在固體表面鍍一層與基體材料不同的薄膜材料，也可以利用固體本身生產一層與基體不同的薄膜材料，即真空鍍膜技術。在真空條件下鍍膜，膜不易受污染，可獲得純度高、致密性好、厚度均勻的膜層。

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空離子蒸發，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。

鍍膜處理時所需的高真空單靠一種類型的泵是無法達到要求的，根據壓力范圍的要求分別使用適當的泵是很有必要的。如何合理有效的對泵進行排布連接將對真空鍍膜機的內部真空度有著必不可分的聯系，還將影響鍍膜的質量。如若在合理安排泵的連接關系從而保證真空鍍膜機內部在鍍膜所需的真空度的同時，合理對真空鍍膜機內部進行減壓，更有利于鍍膜質量。

實用新型內容

本實用新型的目的在于，提供一種真空鍍膜機減壓裝置，以解決上述技術問題。

本實用新型所解決的技術問題可以采用以下技術方案來實現：

真空鍍膜機減壓裝置，包括與鍍膜機的真空室下室聯通的第一羅茨泵組、與鍍膜機的真空室上室聯通的第二羅茨泵組、與大氣聯通的第三羅茨泵組，各羅茨泵組中羅茨泵并聯，其特征在于，還包括一用于提高羅茨泵的級數的升級用羅茨泵組，所述升級用羅茨泵組包括1號升級用羅茨泵、2號升級用羅茨泵；

所述1號升級用羅茨泵的進氣口與鍍膜機的真空室下室以及第一羅茨泵組聯通；

所述2號升級用羅茨泵的進氣口與所述1號升級用羅茨泵的出氣口以及第二羅茨泵組聯通；

所述2號升級用羅茨泵的出氣口與所述第三羅茨泵組聯通。

以所述第三羅茨泵組為前級泵，所述第三羅茨泵組是為了降低羅茨泵的排出壓力，由于羅茨泵的壓縮比是有限的，從而通過選擇特定抽速的前級泵以改善羅茨泵的有限壓縮比。本實用新型在合理安排泵的個數的前提下，提高了本實用新型羅茨泵的級數，減少了管路連接，并提高了羅茨泵的抽速和效率。

所述第一羅茨泵組包括至少三個羅茨泵，所述第二羅茨泵組包括至少二個羅茨泵，所述第三羅茨泵組包括至少三個羅茨泵。

作為一種優選方案，所述第一羅茨泵組包括三個羅茨泵，所述第一羅茨泵組中的各羅茨泵位于所述鍍膜機的真空室下室的下方。

所述第二羅茨泵組包括二個羅茨泵，所述第二羅茨泵組中的各羅茨泵位于所述鍍膜機的真空室上室的左側。

所述第三羅茨泵組包括三個羅茨泵。

所述第一羅茨泵組中的各羅茨泵與鍍膜機的真空室下室之間均設有一閥門；

所述第二羅茨泵組中的各羅茨泵與鍍膜機的真空室上室之間也均設有一閥門。

所述1號升級用羅茨泵的進氣口與鍍膜機的真空室下室之間以及與第一羅茨泵組之間均設有一閥門。

所述2號升級用羅茨泵的出氣口與所述第三羅茨泵組之間設有一閥門。

有益效果：本實用新型通過對羅茨泵的合理連接，進一步增加了羅茨泵的級數，從而進一步提高了羅茨泵抽真空的能力，從而減小整個真空鍍膜系統的能耗。

附圖說明

圖1為現有技術真空鍍膜機減壓裝置結構示意圖；

圖2為本實用新型的具體實施1的結構示意圖。

具體實施方式

為了使本實用新型實現的技術手段、創作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結合具體圖示進一步闡述本實用新型。

真空鍍膜機減壓裝置，包括與鍍膜機的真空室下室聯通的第一羅茨泵組、與鍍膜機的真空室上室聯通的第二羅茨泵組、與大氣聯通的第三羅茨泵組，各羅茨泵組中羅茨泵并聯，還包括一用于提高羅茨泵的級數的升級用羅茨泵組，升級用羅茨泵組包括1號升級用羅茨泵、2號升級用羅茨泵；1號升級用羅茨泵的進氣口與鍍膜機的真空室下室以及第一羅茨泵組聯通；2號升級用羅茨泵的進氣口與1號升級用羅茨泵的出氣口以及第二羅茨泵組聯通；2號升級用羅茨泵的出氣口與第三羅茨泵組聯通。

以第三羅茨泵組為前級泵，第三羅茨泵組是為了降低羅茨泵的排出壓力，由于羅茨泵的壓縮比是有限的，從而通過選擇特定抽速的前級泵以改善羅茨泵的有限壓縮比。

第一羅茨泵組包括至少三個羅茨泵，第二羅茨泵組包括至少二個羅茨泵，第三羅茨泵組包括至少三個羅茨泵。