[實用新型]氣體供給裝置

有效

• 申請號: 201320615768.0
• 申請日: 2013-09-30
• 公開（公告）號: CN203591795U
• 公開（公告）日: 2014-05-14
• 發明（設計）人: 張海華;高椋敦嗣
• 申請（專利權）人: 德山化工（浙江）有限公司
• 主分類號: B01J19/14
• 分類號: B01J19/14
• 代理公司: 北京華夏正合知識產權代理事務所(普通合伙) 11017
• 代理人: 韓登營

技術領域

本實用新型涉及一種用于向供液態氯硅烷流動的配管供給惰性氣體的氣體供給裝置。

背景技術

作為氯硅烷，人們公知如三氯硅烷或者四氯化硅的高氯硅烷。三氯硅烷例如用于合成半導體。四氯化硅例如用于作為光纖的材料。

這些氯硅烷為揮發性強的液體。氯硅烷與水蒸氣和水接觸則會劣化，而且其與水接觸會產生氯化氫等有害氣體。因此，氯硅烷一般在由惰性氣體密封的狀態下處理。

另外，在將氯硅烷導入配管內之前，要預先將惰性氣體導入。從而使配管內的空氣被惰性氣體充分地置換。惰性氣體例如可以使用高純度的氮氣。

實用新型內容

一般情況下，液態氯硅烷的配管和氮氣的配管是通過如球閥等的閥門隔開的。而球閥由于磨損等原因會慢慢劣化。隨著球閥劣化的加劇，會發生大氣混入到氯硅烷的配管當中導致氯硅烷品質惡化、或者致使氯硅烷泄漏到大氣當中的危險。

鑒于上述情況，本實用新型的目的是提供一種能迅速地檢測出閥門劣化的氣體供給裝置。

為實現上述目的，本實用新型的一個技術方案所涉及的氣體供給裝置具有惰性氣體配管、分支配管、硅烷傳感器、第1閥門、第2閥門、第3閥門。

上述惰性氣體配管連接供液態氯硅烷流動的氯硅烷配管和惰性氣體供給源。

上述分支配管與上述惰性氣體配管相連接。

上述硅烷傳感器設置在上述分支配管上。

上述第1閥門設置在上述惰性氣體配管上，且配置在上述氯硅烷配管和上述分支配管之間。

上述第2閥門設置在上述惰性氣體配管上，且配置在上述惰性氣體供給源和上述分支配管之間。

上述第3閥門設置在上述分支配管上，且配置在上述惰性氣體配管和上述硅烷傳感器之間。

【本實用新型的效果】

本實用新型能夠提供一種能迅速地檢測出閥門劣化的氣體供給裝置。

附圖說明

圖1是表本實用新型的一個實施方式所涉及的氣體供給裝置的主要結構示意圖。

圖2是表示上述氣體供給裝置的主要結構示意圖。

圖3是表示上述氣體供給裝置的主要結構示意圖。

【附圖標記符號說明】

1：氣體供給裝置；10：氮氣配管；20：分支配管；11、12、21：閥門；22：硅烷傳感器；100：氯硅烷配管。

具體實施方式

本實用新型的一個實施方式所涉及的氣體供給裝置具有惰性氣體配管、分支配管、硅烷傳感器、第1閥門、第2閥門、第3閥門。

上述惰性氣體配管連接供液態氯硅烷流動的氯硅烷配管和惰性氣體供給源。

上述分支配管與上述惰性氣體配管相連接。

上述硅烷傳感器設置在上述分支配管上。

上述第1閥門設置在上述惰性氣體配管上，且配置在上述氯硅烷配管和上述分支配管之間。

上述第2閥門設置在上述惰性氣體配管上，且配置在上述惰性氣體供給源和上述分支配管之間。

上述第3閥門設置在上述分支配管上，且配置在上述惰性氣體配管和上述硅烷傳感器之間。

根據該結構，通過硅烷傳感器能夠檢測出氯硅烷從第1閥門泄露，從而能夠檢測出第1閥門的劣化。因此，能夠提早更換第1閥門，從而能夠迅速地防止氯硅烷從第1閥門泄露。

下面，參照附圖說明本實用新型的實施方式。

【整體結構】

圖1是表示本實用新型的一個實施方式所涉及的氣體供給裝置1的主要結構示意圖。氣體供給裝置1與供三氯硅烷或者四氯化硅等液態的高氯硅烷流動的氯硅烷配管100相連接，用于將惰性氣體導入氯硅烷配管100內。在本實施方式中，作為惰性氣體使用氮氣，但并不局限于此，也可以使用氬氣等其他惰性氣體。

氣體供給裝置1具有氮氣配管10、分支配管20、閥門11、12、21。氮氣配管10和分支配管20為直線狀的管配件。閥門11、12、21為球閥。在圖1所示的狀態中，閥門11、12、21均處于關閉狀態。

氮氣配管10連接氯硅烷配管100和氮氣供給源（未圖示）。在氮氣配管10上設置有閥門11、12。閥門11配置在比閥門12靠近氯硅烷配管100側的位置上。

分支配管20與氮氣配管10的位于閥門11和閥門12之間的部分相連接。分支配管20的位于與氮氣配管10的相反一側的端部23處于敞口狀態。在分支配管20上設置有硅烷傳感器22。另外，在分支配管20上設置有閥門21，該閥門21配置在相對于硅烷傳感器22靠近氮氣配管10側的位置上。