[實用新型]三氯氫硅廢渣的處理系統

有效

• 申請號: 201320606714.8
• 申請日: 2013-09-29
• 公開（公告）號: CN203508580U
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發明（設計）人: 秦永紅;陳建祥;時智寶;王國正;陳增;常成圣;陳鵬飛;牛磊
• 申請（專利權）人: 河南尚宇新能源股份有限公司
• 主分類號: B09B3/00
• 分類號: B09B3/00;B09B5/00;C01B33/107
• 代理公司: 鄭州大通專利商標代理有限公司 41111
• 代理人: 陳大通

1.一種三氯氫硅廢渣的處理系統，其特征在于：包括真空耙式干燥機、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循環泵、吸收罐和合成液儲罐，所述真空耙式干燥機的抽真空氣相出口依次連接5℃水冷凝器、第一-35℃水冷凝器，所述5℃水冷凝器和第一-35℃水冷凝器的冷凝液出口均連接收集罐，所述收集罐的氣相出口經真空泵連接第二-35℃水冷凝器，所述收集罐的液相出口和第二-35℃水冷凝器的冷凝液出口連接合成液儲罐，所述真空耙式干燥機的蒸發氣相出口連接酸吸收罐，酸吸收罐液相出口再通過酸循環泵分別連接酸吸收罐液相入口和淋洗塔。

2.根據權利要求1所述的三氯氫硅廢渣的處理系統，其特征在于：所述各裝置之間的管線上均設有閥門。