[實用新型]探針卡及探針卡接口和集成電路元件測試系統

有效

• 申請號: 201320602044.2
• 申請日: 2013-09-28
• 公開（公告）號: CN203658412U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 徐家梧
• 申請（專利權）人: 嘉兆科技有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073;G01R31/28
• 代理公司: 廣東世紀專利事務所 44216
• 代理人: 曾忠群

1.一種探針卡，其特征包括：

一線路，其上有大量信號線；一探針頭，包含大量探針用以測試被測元件；一種接口，用以連接包含大量第一組探針的探針頭和包括大量信號線的線路，所述接口包括一個導電層或一通電/接地部分，導電層或通電/接地部分連接到第二組探針，第二組探針為被測元件提供通電和接地。

2.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于第二組探針的長度短于第一組探針。

3.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于導電層或通電/接地部分包括一塊或多塊柔性印刷電路板。

4.根據權利要求3所述的探針卡，其特征在于第二組探針中的一根或多根包括填銅孔。

5.根據權利要求3所述的探針卡，其特征在于接口中的導電層或通電/接地部分與線路連接，從電源獲得電力。

6.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于第一組探針貫穿接口并伸出，并且接口還包括阻抗控制部分，來控制第一組探針的阻抗。

7.根據權利要求6中的探針卡，其特征在于上述阻抗控制部分包括兩個接地平面及夾在兩接地平面之間的電介質層，第一組探針埋入或者部分埋入電介質層內。

8.根據權利要求7中的探針卡，其特征在于第一組探針中的1根或者多根包含導電線。

9.根據權利要求7中的探針卡，其特征在于至少1個接地平面使用陶瓷材料。

10.一種探針卡，其特征在于包括：

????一線路，其上有大量信號線；一探針頭，包含大量探針用以測試被測元件；一接口，用以連接包含大量第一組探針的探針頭和印刷大量信號線的線路，第一組探針貫穿接口并伸出，與線路上的信號線連接，接口包括阻抗控制部分，來控制第一組探針的阻抗。

11.根據權利要求10所述的探針卡，其特征在于阻抗控制部分包括兩個接地平面及夾在兩接地平面之間的電介質層，第一組探針埋入或者部分埋入電介質層內。

12.根據權利要求11所述的探針卡，其特征在于第一組探針中的1根或者多根包含導電線。

13.根據權利要求11所述的探針卡，其特征在于至少1個接地平面使用陶瓷材料。

14.根據權利要求10所述的探針卡，其特征在于上述接口還包括一個導電層或一通電/接地部分，導電層或通電/接地部分連接到第二組探針，為被測元件提供通電和接地。

15.根據權利要求14所述的探針卡，其特征在于第二組探針的長度短于第一組探針。

16.根據權利要求14所述的探針卡，其特征在于上述第二組探針中的一根或多根包括填銅孔。

17.根據權利要求14所述的探針卡，其特征在于導電層或通電/接地部分包括至少一塊柔性印刷電路板。

18.根據權利要求17所述的探針卡，其特征在于上述導電層或通電/接地部分連接到線路，分別從不同的電源和地，進行通電和接地。

19.一種探針卡接口，用于連接大量探針和線路，其特征在于包括：

????阻抗控制部分，用于控制大量第一組探針的阻抗，并且探針頭上第一組探針貫穿接口連接到線路；導電層或通電/接地部分位于線路和大量第二組探針之間，第二組探針長度短于第一組探針。

20.根據權利要求19所述的探針卡接口，其特征在于阻抗控制部分包括兩個接地平面及夾置于兩接地平面內的電介質層，第一組探針埋入或者部分埋入電介質層內。

21.根據權利要求20所述的探針卡接口，其特征在于第一組探針中的一根或者多根包含導電線。

22.根據權利要求19所述的探針卡接口，其特征在于導電層或通電/接地部分包括一塊或多塊柔性印刷電路板。

23.根據權利要求19或22所述的探針卡接口，其特征在于第二組探針中的一根或多根包括填銅孔。