[實(shí)用新型]探針卡及探針卡接口和集成電路元件測(cè)試系統(tǒng)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201320602044.2 | 申請(qǐng)日： | 2013-09-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203658412U | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-06-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐家梧 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 嘉兆科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01R1/073 | 分類(lèi)號(hào)： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 廣東世紀(jì)專(zhuān)利事務(wù)所 44216 | 代理人： | 曾忠群 |
| 地址： | 美國(guó)圣克拉拉3080奧*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 探針 接口 集成電路 元件 測(cè)試 系統(tǒng) | ||
1.一種探針卡，其特征包括：
一線路，其上有大量信號(hào)線；一探針頭，包含大量探針用以測(cè)試被測(cè)元件；一種接口，用以連接包含大量第一組探針的探針頭和包括大量信號(hào)線的線路，所述接口包括一個(gè)導(dǎo)電層或一通電/接地部分，導(dǎo)電層或通電/接地部分連接到第二組探針，第二組探針為被測(cè)元件提供通電和接地。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于第二組探針的長(zhǎng)度短于第一組探針。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于導(dǎo)電層或通電/接地部分包括一塊或多塊柔性印刷電路板。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針卡，其特征在于第二組探針中的一根或多根包括填銅孔。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的探針卡，其特征在于接口中的導(dǎo)電層或通電/接地部分與線路連接，從電源獲得電力。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針卡，其特征在于第一組探針貫穿接口并伸出，并且接口還包括阻抗控制部分，來(lái)控制第一組探針的阻抗。
7.根據(jù)權(quán)利要求6中的探針卡，其特征在于上述阻抗控制部分包括兩個(gè)接地平面及夾在兩接地平面之間的電介質(zhì)層，第一組探針埋入或者部分埋入電介質(zhì)層內(nèi)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7中的探針卡，其特征在于第一組探針中的1根或者多根包含導(dǎo)電線。
9.根據(jù)權(quán)利要求7中的探針卡，其特征在于至少1個(gè)接地平面使用陶瓷材料。
10.一種探針卡，其特征在于包括：
????一線路，其上有大量信號(hào)線；一探針頭，包含大量探針用以測(cè)試被測(cè)元件；一接口，用以連接包含大量第一組探針的探針頭和印刷大量信號(hào)線的線路，第一組探針貫穿接口并伸出，與線路上的信號(hào)線連接，接口包括阻抗控制部分，來(lái)控制第一組探針的阻抗。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的探針卡，其特征在于阻抗控制部分包括兩個(gè)接地平面及夾在兩接地平面之間的電介質(zhì)層，第一組探針埋入或者部分埋入電介質(zhì)層內(nèi)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的探針卡，其特征在于第一組探針中的1根或者多根包含導(dǎo)電線。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的探針卡，其特征在于至少1個(gè)接地平面使用陶瓷材料。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的探針卡，其特征在于上述接口還包括一個(gè)導(dǎo)電層或一通電/接地部分，導(dǎo)電層或通電/接地部分連接到第二組探針，為被測(cè)元件提供通電和接地。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的探針卡，其特征在于第二組探針的長(zhǎng)度短于第一組探針。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的探針卡，其特征在于上述第二組探針中的一根或多根包括填銅孔。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的探針卡，其特征在于導(dǎo)電層或通電/接地部分包括至少一塊柔性印刷電路板。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的探針卡，其特征在于上述導(dǎo)電層或通電/接地部分連接到線路，分別從不同的電源和地，進(jìn)行通電和接地。
19.一種探針卡接口，用于連接大量探針和線路，其特征在于包括：
????阻抗控制部分，用于控制大量第一組探針的阻抗，并且探針頭上第一組探針貫穿接口連接到線路；導(dǎo)電層或通電/接地部分位于線路和大量第二組探針之間，第二組探針長(zhǎng)度短于第一組探針。
20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的探針卡接口，其特征在于阻抗控制部分包括兩個(gè)接地平面及夾置于兩接地平面內(nèi)的電介質(zhì)層，第一組探針埋入或者部分埋入電介質(zhì)層內(nèi)。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的探針卡接口，其特征在于第一組探針中的一根或者多根包含導(dǎo)電線。
22.根據(jù)權(quán)利要求19所述的探針卡接口，其特征在于導(dǎo)電層或通電/接地部分包括一塊或多塊柔性印刷電路板。
23.根據(jù)權(quán)利要求19或22所述的探針卡接口，其特征在于第二組探針中的一根或多根包括填銅孔。
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