[實(shí)用新型]一種可回收重復(fù)制備的微瓦斯傳感器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201320600029.4 | 申請日： | 2013-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN203519541U | 公開（公告）日： | 2014-04-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馬洪宇;王文娟;丁恩杰;趙小虎;程婷婷 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國礦業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | G01N27/16 | 分類號： | G01N27/16 |
| 代理公司： | 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 楊曉玲 |
| 地址： | 221116 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 可回收 重復(fù) 制備 瓦斯 傳感器 | ||
1.一種可回收重復(fù)制備的微瓦斯傳感器，其特征是：該微瓦斯傳感器包括硅支座（101）、固定端（102）、對稱設(shè)置的硅懸臂（103）、硅加熱器（104）及催化劑載體（106）；所述硅加熱器（104）較佳為圓環(huán)形，圓環(huán)形硅加熱器（104）的中間較佳設(shè)有兩個對稱內(nèi)伸的散熱-支撐硅塊（105）；所述硅支座（101）包括硅襯底（11）與設(shè)在硅襯底（11）上的埋層氧化硅（12）；所述硅懸臂（103）、硅加熱器（104）均包括支撐硅層（21）、設(shè)在支撐硅層（21）外的氧化硅層（23）；所述硅懸臂（103）的一端與硅加熱器（104）一側(cè)相連，另一端與硅支座（101）上的固定端（102）連接；所述固定端（102）設(shè)在硅支座（101）的埋層氧化硅（12）上，固定端（102）包括支撐硅層（21）、設(shè)在支撐硅層（21）外的氧化硅層（23）、設(shè)在氧化硅層（23）上的作為電引出焊盤Pad的金屬層（22），固定端（102）的支撐硅層（21）內(nèi)設(shè)有摻雜硅層（24），所述電引出焊盤Pad的金屬層（22）通過氧化硅層（23）的窗口與固定端的摻雜硅層（24）相接觸以形成歐姆接觸；所述硅加熱器（104）完全嵌入在催化劑載體（106）中，催化劑載體（106）貫穿于硅加熱器（104）的中間，為一個完整的整體結(jié)構(gòu)。
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